[发明专利]半导体工艺设备及其电能回收装置

权利要求书

1.一种半导体工艺设备中的电能回收装置，其特征在于，所述电能回收装置与所述半导体工艺设备中电机的供电电路连接，用于在所述电机减速时回收所述供电电路的电能，所述电能回收装置包括：检测单元、控制单元及储能单元；

所述检测单元与所述供电电路连接，用于检测所述供电电路的电压并且输出至所述控制单元；

所述控制单元用于在所述供电电路的电压大于预设阈值时，控制所述供电电路为所述储能单元充电。

2.如权利要求1所述的电能回收装置，其特征在于，所述检测单元包括检测电路及转换电路，所述检测电路用于检测所述供电电路的电压；所述转换电路用于将所述检测电路检测到的所述供电电路的电压转换为电压值信号。

3.如权利要求2所述的电能回收装置，其特征在于，所述检测电路包括第一电阻及第二电阻，所述第一电阻和所述第二电阻串联在所述供电电路的直流母线的正极和负极之间；所述转换电路包括光耦，所述光耦与所述第二电阻并联，用于将所述第二电阻的电压转换为所述电压值信号。

4.如权利要求2或3所述的电能回收装置，其特征在于，所述控制单元包括导通电路及控制电路，所述导通电路用于在所述控制电路的控制下选择性导通所述供电电路与所述储能单元，所述控制电路用于根据所述电压值信号控制所述导通电路。

5.如权利要求4所述的电能回收装置，其特征在于，所述导通电路包括三极管，所述三极管的集电极与所述供电电路的直流母线的正极连接，所述三极管的发射极与所述储能单元的正极连接，所述三极管的门极与所述控制电路连接，所述供电电路母线的负极与所述储能单元的负极连接。

6.如权利要求5所述的电能回收装置，其特征在于，所述控制电路包括转换器、处理器及驱动器，所述转换器用于将所述电压值信号转换为所述处理器可识别的信号，所述处理器用于根据转换后的所述电压值信号控制所述驱动器向所述三极管的门极施加不同的电压，使所述三极管导通或关断。

7.如权利要求5所述的电能回收装置，其特征在于，所述导通电路还包括电感、第三电阻、续流二极管，所述三极管的发射极通过所述电感、所述第三电阻与所述储能单元的正极连接，所述续流二极管的负极与所述三极管的发射极连接，所述续流二极管的正极与所述储能单元的负极连接。

8.如权利要求6所述的电能回收装置，其特征在于，所述电压值信号为模拟信号，所述转换器用于将所述电压值信号转换为数字信号；所述处理器用于比较转换为数字信号的所述电压值信号与所述预设阈值的大小，并且根据对比结果控制所述驱动器向所述三极管的门极施加不同的电压。

9.如权利要求1所述的电能回收装置，其特征在于，所述电能回收装置还包括负载单元，所述负载单元与所述储能单元连接，用于消耗所述储能单元内的电能。

10.一种半导工艺设备，其特征在于，包括电机及如权利要求1至9的任一所述的电能回收装置。