[发明专利]基于多源激振的高通量微液滴发生装置

权利要求书

1.基于多源激振的高通量微液滴发生装置，其特征在于：包括液体供给组件、压力液体容腔、喷头和激励组件；所述液体供给组件用于向所述压力液体容腔补充液体并维持液体相对于容腔外部环境的正压；所述喷头设置于压力液体容腔的壁面，喷头具有直径在1微米至1000微米的小孔；所述激励组件包括两个以上声振源，每个声振源均包括激振元件和声透镜，声透镜为凹面结构；声透镜的声焦点均位于喷头的小孔处；各个声振源的声波叠加后形成扰动，作用于喷头的小孔附近。

2.如权利要求1所述的基于多源激振的高通量微液滴发生装置，其特征在于：所述两个以上声透镜的凹面共面于同一个球面。

3.如权利要求1所述的基于多源激振的高通量微液滴发生装置，其特征在于：所述喷头包括孔板，孔板上具有小孔，孔板与所述压力液体容腔间具有密封圈，使用压紧端盖将孔板和密封圈压紧在压力液体容腔壁面上。

4.如权利要求1或3所述的基于多源激振的高通量微液滴发生装置，其特征在于：所述压力液体容腔的内壁面使用高洁净度不锈钢或含氟树脂材料。

5.如权利要求1或2所述的基于多源激振的高通量微液滴发生装置，其特征在于：所述声透镜采用石英玻璃材料。

6.如权利要求1所述的基于多源激振的高通量微液滴发生装置，其特征在于：所述声振源的激振元件是压电陶瓷堆叠。

7.如权利要求1所述的基于多源激振的高通量微液滴发生装置，其特征在于：还包括压力传感器以监测所述压力液体容腔内部的液体压力。

8.如权利要求1所述的基于多源激振的高通量微液滴发生装置，其特征在于：还包括温度传感器以监测所述压力液体容腔内部的液体温度。

9.如权利要求1所述的基于多源激振的高通量微液滴发生装置，其特征在于：所述小孔的直径在10微米至100微米之间。

10.如权利要求1所述的基于多源激振的高通量微液滴发生装置，其特征在于：多个所述声振源分别接收不同频率的正弦波形激励信号。