[发明专利]一种ZnO/Ti3有效

专利信息
申请号: 202011164466.7 申请日: 2020-10-27
公开(公告)号: CN112382686B 公开(公告)日: 2023-03-21
发明(设计)人: 季小红;曹发 申请(专利权)人: 华南理工大学
主分类号: H01L31/09 分类号: H01L31/09;H01L31/0328;H01L31/18
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 何淑珍;江裕强
地址: 510640 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 zno ti base sub
【权利要求书】:

1.一种ZnO/Ti3C2Tx线形紫外探测器,其特征在于,包括衬底、ZnO层、Ti3C2Tx层及Ag电极;所述ZnO层包裹在衬底表面;所述Ti3C2Tx层包裹着ZnO层;所述Ag电极有两个,这两个Ag电极分别与ZnO层和Ti3C2Tx层连接,所述ZnO层为在衬底上采用垂直提拉的方法制备氧化锌凝胶层,然后氧化锌凝胶层退火处理得到的ZnO层;所述衬底为玻璃纤维丝。

2.根据权利要求1所述的ZnO/Ti3C2Tx线形紫外探测器,其特征在于,所述ZnO层的厚度为200-300nm。

3.根据权利要求1所述的ZnO/Ti3C2Tx线形紫外探测器,其特征在于,所述Ti3C2Tx层的厚度为1.2-1.5nm。

4.一种制备权利要求1-3任一项所述的ZnO/Ti3C2Tx线形紫外探测器的方法,其特征在于,包括如下步骤:

(1)在衬底上采用垂直提拉的方法制备氧化锌凝胶层;

(2)对步骤(1)所述氧化锌凝胶层采用退火处理,制备得到ZnO层;

(3)在步骤(2)所述ZnO层的表面上用垂直提拉的方法制备Ti3C2Tx层,所述垂直提拉的过程中,浸泡时间为10-30s;

(4)对步骤(2)所述ZnO层和步骤(3)所述Ti3C2Tx层上分别刷银浆,在保护气氛下进行退火处理,形成欧姆接触,得到所述ZnO/Ti3C2Tx线形紫外探测器,所述退火处理的温度为120-140℃。

5.根据权利要求4所述的ZnO/Ti3C2Tx线形紫外探测器的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述氧化锌凝胶的浓度为0.2M-0.4M;步骤(1)所述垂直提拉过程中,浸泡时间为1-3min。

6.根据权利要求4所述的ZnO/Ti3C2Tx线形紫外探测器的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述退火处理的温度为300-400℃,退火处理的时间为40-80min。

7.根据权利要求4所述的ZnO/Ti3C2Tx线形紫外探测器的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述退火处理的气氛为空气气氛。

8.根据权利要求4所述的ZnO/Ti3C2Tx线形紫外探测器的制备方法,其特征在于,步骤(3)所述Ti3C2Tx层为二维单层材料。

9.根据权利要求4所述的ZnO/Ti3C2Tx线形紫外探测器的制备方法,其特征在于,步骤(4)所述退火处理的时间为30-60min,所述保护气氛为N2或Ar气氛。

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