[发明专利]用于反应腔中加热管的散热装置及反应腔室

说明书

本申请公开一种用于反应腔中加热管的散热装置及反应腔室，所公开的散热装置(100)中，散热本体(110)用于与加热管(200)的基座(210)可拆卸连接，且导热相连，散热本体(110)内设有流体通道，流体流入部(120)和流体流出部(130)均与流体通道连通，调节阀(140)设置于流体流入部(120)上，温度测量器(160)设置于散热本体(110)与基座(210)的固定连接处，用于测量基座(210)的温度，且温度测量器(160)与温控器(150)的输入端电连接，调节阀(140)与温控器(150)的输出端电连接。上述方案能够解决因灯座温度过高而导致石英管与灯座之间的石膏密封较容易失效的问题。

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种用于反应腔中加热管的散热装置及反应腔室。

背景技术

化学气相沉积外延生长是将反应气体输送到反应腔，通过加热等方式，使之反应，生长原子沉积在衬底上，长出单晶层。

反应腔通过如图1所示的加热管10进行加热，加热管10包括灯座11、灯丝12和石英管13，灯丝12位于石英管13中，且灯丝12与灯座11电连接，石英管13与灯座11的连接处通过石膏密封。由于反应腔中的温度通常需要在1000℃-1200℃之间，加热管10需要通过输出较大的功率来加热反应腔，因此，灯丝12、石英管13以及灯座11的温度，会随着加热时间的增加，将升到很高的温度。由于石英管13与灯座11的根部为石膏密封，温度过高会导致石膏密封出现密封失效，使得石英管13中进入空气而损坏，进而导致灯丝12氧化损坏。

目前常用的解决方式是在灯座11上安装散热片14，通过散热片14对灯座11进行降温，但此种方式的散热速度较慢，且无法根据灯座11的实际温度对灯座11进行有效地散热，也会出现因灯座11温度过高而导致石膏密封失效的问题。

发明内容

本申请公开一种用于反应腔中加热管的散热装置及反应腔室，能够解决因灯座温度过高而导致石英管与灯座之间的石膏密封较容易失效的问题。

为解决上述技术问题，本申请是这样实现的：

第一方面，本申请实施例公开一种用于反应腔中加热管的散热装置，包括散热本体、流体流入部、流体流出部、调节阀、温控器和温度测量器，其中：

所述散热本体用于与所述加热管的基座可拆卸连接，且导热相连，所述散热本体内设有流体通道，所述流体流入部和所述流体流出部均与所述流体通道连通，所述调节阀设置于所述流体流入部上，所述温度测量器设置于所述散热本体与所述基座的固定连接处，用于测量所述基座的温度，且所述温度测量器与所述温控器的输入端电连接，所述调节阀与所述温控器的输出端电连接。

第二方面，本申请实施例公开一种反应腔室，包括加热管、反应腔本体、供电连接座和上文所述的散热装置，其中：

所述供电连接座设置于所述反应腔本体上，所述加热管的基座设置于所述供电连接座，且两者电连接，所述散热装置的所述散热本体与所述基座可拆卸连接。

本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：

本申请公开的散热装置和反应腔室中，散热本体与加热管的基座导热相连，且散热本体内设有流体通道，流体流入部和流体流出部均与流体通道连通，调节阀设置于流体流入部上，温度测量器设置于散热本体与基座的固定连接处，用于测量基座的温度，且温度测量器与温控器的输入端电连接，调节阀与温控器的输出端电连接。此种情况下，温控器根据温度测量器所测量的温度信息，控制调节阀的开度，以控制通过流体流入部流入流体通道中流体的流量，在流体流经流体通道时，吸收散热本体上的热量，由于基座上的热量传递至散热本体上，因此，散热本体上的热量也就是基座上的热量，故流体在流经流体通道时能够带走基座上的热量，从而散走基座上的热量，防止基座温度过高，进而实现基座的散热目的，以使散热装置能够自动控制基座的温度，防止因基座温度过高而导致石膏密封失效。

附图说明