[发明专利]一种制备厘米级2H相CrS2在审

专利信息
申请号: 202011169934.X 申请日: 2020-10-28
公开(公告)号: CN112279301A 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 聂安民;康梦克;向建勇;牟从普;柳忠元;田永君 申请(专利权)人: 燕山大学
主分类号: C01G41/00 分类号: C01G41/00;C01G37/00
代理公司: 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) 13123 代理人: 张建
地址: 066004 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 制备 厘米 crs base sub
【权利要求书】:

1.一种制备厘米级2H相CrS2-WS2水平异质结的方法,其特征在于,包括以下步骤:以Cr、NaCl、WO3、S为原料,在多温区管式炉里面以Si/SiO2为基底,在氩气保护下,进行加热硫化反应,通过一步化学气相沉积法制备得到厘米级2H相CrS2-WS2水平异质结;反应时S单质置于刚玉舟中放置在多温区管式炉的上游,WO3和NaCl的混合物置于刚玉舟中放置在多温区管式炉的下游,Cr粉均匀平铺于刚玉舟底部放置于多温区管式炉的下游、WO3和NaCl的混合物的另一侧,调节Cr粉刚玉舟的位置,使Cr粉的反应温度保持在930-970℃。

2.根据权利要求1所述的一种制备厘米级2H相CrS2-WS2水平异质结的方法,其特征在于:所述多温区管式炉的上游温度为150-210℃。

3.根据权利要求1所述的一种制备厘米级2H相CrS2-WS2水平异质结的方法,其特征在于:所述多温区管式炉的下游温度为940-980℃。

4.根据权利要求1所述的一种制备厘米级2H相CrS2-WS2水平异质结的方法,其特征在于:所述的氩气的流量为20-50sccm。

5.根据权利要求1所述的一种制备厘米级2H相CrS2-WS2水平异质结的方法,其特征在于:反应时多温区管式炉管内压强为50-200Pa。

6.根据权利要求1所述的一种制备厘米级2H相CrS2-WS2水平异质结的方法,其特征在于:所述硫化反应的升温时间为30-50min,反应时间为20-50min。

7.根据权利要求1所述的一种制备厘米级2H相CrS2-WS2水平异质结的方法,其特征在于:所述方法还包括硫化反应前对所用样品沉积基底Si/SiO2用丙酮进行超声清洗,后用乙醇清洗,最后用N2吹干。

8.根据权利要求1所述的一种制备厘米级2H相CrS2-WS2水平异质结的方法,其特征在于:所述方法还包括在硫化反应之前,使用氩气进行清洗多温区管式炉及刚玉舟。

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