[发明专利]一种氢气多元抑制剂复合气体的复合方法及其系统

权利要求书

1.一种氢气多元抑制剂复合气体的复合方法，其特征在于，包括依次进行的如下步骤：

（1）将待充装气瓶连接在气瓶清洗装置上，在瓶壁外边包裹加热套，设置加热套温度为50℃，通过高真空分子泵组进行真空处理，加热时间不小于12小时，真空处理时间不小于24小时，气瓶内真空度小于2×10^-5Pa；

（2）检查各原料气瓶及待充装气瓶的连接位置是否正确，配气台上所有阀门是否处于正确的开关状态，如果是则进入下一步骤；

（3）将处理好的待充装气瓶接入低压系统，在确保不泄漏的条件下，打开待充装气瓶阀门，抽真空至5×10^-3Pa；

（4）卸下待充装气瓶，将待充装气瓶外壁用干布擦干净，在称量装置称出待充装气瓶的空瓶质量；

（5）将称量过的待充装气瓶接入低压系统抽至5×10^-3Pa，开启待充装气瓶的阀门检查真空度是否满足条件，满足则进入下一步骤，不满足则返回步骤（1）；

（6）对多个原料气瓶中的原料进行分析，分别得到对应的分析指数，其中多个原料气瓶分别填充氦气、三氟甲烷和氢气；

（7）将各原料气瓶分别通过第一传输通道与配气装置连接，将待充装气瓶通过第二传输通道与配气装置连接；其中，在第一传输通道中设置两段子传输通道；

（8）对传输中的进入前段传输通道的原料气体进行加热加压，加热温度为65℃，压力为原料气瓶标准设定压力值的1.5倍；对传输中的进入后段传输通道的原料气体进行恒热减压，恒温温度为60℃，压力为原料气体标准设定压力值的1.3倍；

（9）将经过第一传输通道的各原料气瓶中的组分气体，利用配气装置分别按预先计算的压力，通过第二传输通道充入待充装气瓶至所需的第一压力值后，卸下待充装气瓶再次进行称重；

（10）将完成充装入组分气的待充装气瓶接入高压系统，用稀释气体反复冲洗管路后，将稀释气充入完成充装的待充装气瓶至所需第二压力值；

（11）保持环境温度稳定在34℃至少20分钟后，将完成充装的待充装气瓶静置于此环境温度下45分钟，待温度平衡后利用称量装置来称量待充装气瓶加混合气的总质量；

（12）基于待充装气瓶加混合气的总质量和待充装气瓶的空瓶质量，计算出所配标准气体的含量；

（13）利用气体混匀装置将待充装气瓶中的标准气体混匀。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述步骤（6）还包括利用气相色谱-质谱联用仪对三氟甲烷纯度进行测定。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于：所述步骤（6）还包括利用微量水分析仪对原料气瓶的水分含量进行测试。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于：水分含量进行测试的方法采用卡尔·费休方法，并取得多次测量的平均值作为测量值。

5.如权利要求4所述的方法，其特征在于：采用脉冲放电氦离子气相色谱仪（GC-PDHID）对原料气瓶的氧气、氩气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷杂质含量进行检测。

6.如权利要求1或5所述的方法，其特征在于：所述称量装置为采用质量比较器。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于：质量比较器为高精度电子天平。

8.如权利要求1或5或7所述的方法，其特征在于：待充装气瓶采用内壁经过电化学抛光处理的4L铝合金气瓶。