[发明专利]灯保持用盒体及利用灯保持用盒体的曝光装置用光源

说明书

提供一种灯保持用盒体，即使在将多个灯彼此紧密配置的情况下，附近的灯、到该灯的布线也不易造成干扰，灯的安装作业变得容易，且能够降低灯无法安装于适当的位置的风险。将灯保持用盒体(10)至少利用第一主体部(12)以及第二主体部(14)来构成。在第一主体部(12)以及第二主体部(14)，分别形成有供多个灯(L)安装的多个灯安装凹部(20)。第一主体部(12)的第一侧面(26)与第二主体部(14)的第二侧面(28)相配合而能彼此接合。

技术领域

本发明涉及例如用作曝光装置用光源的、将多个灯合在一起保持的灯保持用盒体。

背景技术

对于例如曝光装置中所使用的光源等需要大光量的光源，现有主流是设置1个大型的放电灯等的灯，但存在若该灯发生故障则光源失光而必须停止整个曝光装置、维护困难等问题，因此近年开发了通过将小型的放电灯等的灯排列配置多个来构成能放射需要的光量的光源的技术。

例如在专利文献1中公开了使用盒体(cassette)的技术，为了将多个灯进行排列并容易配置于期望的位置，该盒体具备将这些灯分个保持的多个凹部。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2016-200751号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

然而，专利文献1公开的灯保持用盒体也存在需要改善之处。

在使用多个灯的曝光装置用光源中，例如如图9以及图10所示，为了提高来自各灯L的光的利用效率，将各灯L彼此紧密地配置。故而，在想要将1个灯L安装于盒体C时，附近的灯L、到该灯L的布线X会产生干扰，灯L的安装作业变难，故认为若一不慎，则不能将灯L安装至适当的位置。

若灯L的安装作业变难，则将多个灯L安装于1个曝光装置用光源的作业时间变长，成为推升曝光装置整体的维护成本上扬的主因。另外，在灯L无法安装于适当的位置的情况下，有可能曝光面的照度下降而导致曝光质量下降。

本发明鉴于上述课题而提出，其目的在于，提供一种灯保持用盒体以及利用灯保持用盒体的曝光装置用光源，即使在将多个灯彼此紧密配置的情况下，附近的灯、到该灯的布线也不易造成干扰，灯的安装作业容易，且能够降低灯无法安装于适当的位置的风险。

(用于解决课题的技术方案)

根据本发明的一技术方案，提供一种灯保持用盒体，至少具备第一主体部以及第二主体部，在所述第一主体部以及所述第二主体部，分别形成有供多个灯安装的多个灯安装凹部，所述第一主体部的第一侧面与所述第二主体部的第二侧面相配合而能彼此接合。

优选地，所述第一主体部的所述第一侧面的一端部相对于所述第二主体部的所述第二侧面的一端部以圆柱状的销进行安装，所述第一主体部能相对于所述第二主体部以所述销为中心进行转动。

优选地，所述灯保持用盒体还具备引导构件，在所述第一主体部的所述第一侧面与所述第二主体部的所述第二侧面彼此对置的状态下，所述引导构件能加宽或缩窄所述第一主体部与所述第二主体部之间的间隔。

优选地，在所述灯安装凹部的内侧面，形成有从所述内侧面突出设置的突部，在安装于所述灯安装凹部的所述灯不位于正确的位置的情况下，所述突部触碰所述灯。

根据本发明的另一技术方案，提供一种曝光装置用光源，具备上述灯保持用盒体。

(发明效果)

根据本发明所涉及的灯保持用盒体，该灯保持用盒体至少分为第一主体部与第二主体部来构成，第一主体部的第一侧面能与第二主体部的第二侧面相结合而彼此接合。