[发明专利]气氛置换装置和热处理系统

说明书

提供气氛置换装置和热处理系统，在工件搬入时能够根据工件搬出目的地的室的气氛来高效地置换气氛置换室的气氛，防止在工件搬出后从工件搬出目的地的室流入的气体滞留在气氛置换室中，从而防止流入的气体对工件产生影响。在气氛置换室(21)中设置有提供气氛置换用气体的气体提供口(22)和在置换气氛时将气氛置换室(21)内的气体向外排出的气体排出口(23)。第1气体提供部(24)在工件(16)被搬入到气氛置换室(21)的状态下将作为气氛置换用气体的第1气体从气体提供口(22)提供到气氛置换室(21)。第2气体提供部(25)在工件(16)从气氛置换室(21)搬出之后将作为气氛置换用气体的第2气体从气体提供口(22)提供到气氛置换室(21)。

技术领域

本发明涉及供工件搬入和搬出并且置换内部的气氛的气氛置换装置以及具有该气氛置换装置的热处理系统。

背景技术

以往，在维持为规定的气氛状态的室内对工件实施热处理等处理的情况下，防止大气从搬入工件的入口流入到室内。

在专利文献1中公开了一种连续式烧结炉，其具有：脱蜡装置，其供作为被烧结体的工件搬入而对该工件进行加热，进行使包含油脂成分的粘结剂气化而将该粘结剂去除的处理；以及烧结装置，其对从脱蜡装置搬送的工件进行烧结。在专利文献1的连续式烧结炉中，在脱蜡装置中，始终提供朝向搬入工件的入口侧流动的氧化性气体，防止大气从入口流入到脱蜡装置的室内。但是，在专利文献1的连续式烧结炉的情况下，需要在进行工件处理的脱蜡装置的室内始终持续提供氧化性气体。因此，在构成进行工件处理的室内的气氛的气体是高价气体的情况下，会导致成本大幅上升。

另一方面，在专利文献2中，公开了一种连续式热处理装置，其具有：真空容器，其形成有供工件搬入的搬入室和对搬入到搬入室的工件进行热处理的处理室；以及装载锁定装置，其具有与真空容器的搬入室连结的装载锁定室。在专利文献2的连续式热处理装置中，装载锁定装置构成为在将装载锁定室内的气氛置换为惰性气体气氛的状态下在装载锁定室与搬入室之间交接被处理物。即，装载锁定装置具有作为供工件搬入和搬出的装载锁定室的气氛置换室，构成为置换气氛置换室的内部的气氛的气氛置换装置。在专利文献2所公开的连续式热处理装置中，通过在处理室的入口侧设置装载锁定装置，将进行工件的热处理的处理室的气氛与外部隔断，防止大气流入处理室内。

专利文献1：日本特开2009-215627号公报

专利文献2：日本特许第6469747号公报

如果使用专利文献2所公开的作为装载锁定装置的气氛置换装置，则在向气氛置换室搬入工件时能够根据与气氛置换室连结的工件搬出目的地的室的气氛来高效地置换供工件搬入和搬出的气氛置换室的气氛。因此，根据专利文献2所公开的气氛置换装置，能够防止在维持为规定的气氛状态的室内对工件实施热处理等处理的情况下大气从搬入工件的入口流入室内。

另外，根据专利文献2所公开的气氛置换装置，在工件被搬入到气氛置换室内的状态下置换气氛置换室内的气氛，接着，将工件从气氛置换室向工件搬出目的地的室搬出。因此，只要在置换气氛置换室的气氛时提供气氛置换用的气体即可，不需要始终持续提供气体。由此，能够减少气体的使用量，能够抑制成本的上升。特别是在构成进行工件处理的室内的气氛的气体是高价气体的情况下，能够减少高价气体的使用量，能够大幅抑制成本的上升。

但是，根据专利文献2所公开的气氛置换装置，在对搬入了工件的气氛置换室内的气氛进行了置换之后，在将工件从气氛置换室向工件搬出目的地的室搬出时，工件搬出目的地的室内的气体流入到气氛置换室。因此，在将工件从气氛置换室搬出之后，从工件搬出目的地的室流入的气体滞留在气氛置换室中。如果在工件搬出后从工件搬出目的地的室流入的气体滞留在气氛置换室中，则在向气氛置换室新搬入工件时，从工件搬出目的地的室流入的气体所包含的成分有可能对工件产生影响。