[发明专利]反射式共聚焦成像装置

权利要求书

1.一种反射式共聚焦成像装置，其特征在于，包括：物镜、第一透镜、1/4波片、第二透镜、高速扫描振镜、分光棱镜、激光器、第三透镜、针孔、第四透镜、光电倍增管以及计算机；

所述激光器发出的激光经所述分光棱镜反射至所述高速扫描振镜，然后依次通过所述第二透镜、1/4波片、第一透镜、物镜后照射到样品上，样品的反射光原路返回至所述分光棱镜，反射光透射所述分光棱镜后再依次通过所述第三透镜、针孔、第四透镜后到达所述光电倍增管，所述光电倍增管将采集的反射光信号传输至所述计算机中进行成像。

2.根据权利要求1所述的反射式共聚焦成像装置，其特征在于，还包括光学平台，所述物镜通过多维调整机构安装在所述光学平台上；

所述多维调整机构包括固接在所述光学平台上的三维调整架以及设置在所述三维调整架上的角度调节机构，所述物镜安装在所述角度调节机构上。

3.根据权利要求2所述的反射式共聚焦成像装置，其特征在于，所述三维调整架包括底座、可沿X方向滑动设置在所述底座上的X滑台、设置在所述底座上的用于带动所述X滑台移动的X调节微分头、可沿Y方向滑动设置在所述X滑台上的Y滑台、设置在所述X滑台上的用于带动所述Y滑台移动的Y调节微分头、设置在所述Y滑台上的Z向安装板、可沿Z方向滑动设置在安装板上的Z滑台以及用于带动所述Z滑台移动的Z调节微分头。

4.根据权利要求3所述的反射式共聚焦成像装置，其特征在于，所述Z向安装板上开设有Z向滑槽，所述Z调节微分头通过一安装滑块连接在所述Z滑台上，所述安装滑块的第一端上开设有供所述Z调节微分头插入的安装孔，所述述安装滑块的第二端穿过所述Z向滑槽与所述Z滑台连接；

所述Y滑台上设置有顶块，所述Z调节微分头的螺纹轴套设置在所述安装孔内，所述Z调节微分头的螺杆的下端与所述顶块的上表面顶压。

5.根据权利要求4所述的反射式共聚焦成像装置，其特征在于，所述Z向滑槽内沿Z向设置有与所述Z向滑槽的内壁连接的导向杆，所述安装滑块的第二端上开设有供所述导向杆穿过的导向滑孔。

6.根据权利要求4所述的反射式共聚焦成像装置，其特征在于，所述安装滑块的第二端的上表面开设有第一弹簧孔，所述第一弹簧孔内设置有第一预紧弹簧；所述Z向滑槽的上部内壁上开设有第二弹簧孔，所述第一预紧弹簧的两端分别设置在所述第一弹簧孔和第二弹簧孔内。

7.根据权利要求4所述的反射式共聚焦成像装置，其特征在于，所述安装滑块的第二端的两侧外壁上设置有若干安装槽，所述安装槽内通过转轴枢接有滚轮，所述滚轮用于与所述Z向滑槽的两侧内壁接触。

8.根据权利要求3所述的反射式共聚焦成像装置，其特征在于，所述Z滑台上连接有水平安装板，所述角度调节机构包括固接在所述水平安装板上的L型调节基座、通过铰链与所述L型调节基座的转角位置连接的镜片安装座以及设置在所述L型调节基座上的若干调节螺钉，所述物镜设置在所述镜片安装座上。

9.根据权利要求8所述的反射式共聚焦成像装置，其特征在于，所述调节螺钉包括螺纹连接在所述L型调节基座的第一端的第一调节螺钉和螺纹连接在所述L型调节基座的第二端的第二调节螺钉；

所述第一调节螺钉和第二调节螺钉的末端均设置有顶球，所述镜片安装座上开设有供所述顶球配合插入的顶球槽。

10.根据权利要求9所述的反射式共聚焦成像装置，其特征在于，所述第一调节螺钉和第二调节螺钉的末端均套设有与所述L型调节基座连接的安装套，所述顶球穿过所述安装套伸入所述顶球槽内，所述安装套和所述镜片安装座之间连接有第二预紧弹簧。