[发明专利]一种若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装方法有效
申请号: | 202011174060.7 | 申请日: | 2020-10-28 |
公开(公告)号: | CN112366181B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 汤姝莉;赵国良;张健;薛亚慧;袁海;杨宇军;郝沄 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | H01L21/98 | 分类号: | H01L21/98;H01L21/50 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李鹏威 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 若干 芯片 转接 组件 倒装 焊叠层 组装 方法 | ||
本发明一种若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装方法,所述方法包括步骤1,在硅转接板的倒装焊区域涂抹助焊剂,或用若干个倒装焊芯片蘸取助焊剂,将芯片焊球分别与硅转接板焊盘对位后贴片;步骤2,将初步形成的组件真空回流焊接,之后清洗进行倒装焊芯片的底部填充及硅转接板背面的植球,重复得若干个多芯片/硅转接板组件;步骤3,在管壳的倒装焊区域涂抹助焊剂,选取靠近中心位置和高度最高的倒装焊芯片表面作为拾取点,分别将组件与管壳对位后贴片;步骤4,将形成的模块真空回流焊接,清洗再进行硅转接板的底部填充,能够显著提高组装效率,提高倒装焊质量,兼容不同厚度、尺寸的倒装焊芯片组装,具有重要的社会效益和经济价值。
技术领域
本发明涉及先进电子封装技术领域,具体为一种若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装方法。
背景技术
硅转接板具有二次布线及导电通孔的多层结构特征,其布线与孔密度远高于电子产品中常见的陶瓷基板及印制电路板,并且利用导电通孔可形成上下表面的电连接,因此硅转接板可实现大规模I/O芯片的高速信号传输及一个甚至多个倒装焊芯片的叠层组装。与直接焊至管壳上的单层倒装焊结构相比,硅转接板能够将微尺寸、细间距的芯片凸点转接为较大尺寸及间距的焊球,避免了管壳制造工艺极限对倒装焊芯片凸点尺寸及数量的限制。通过硅转接板的高密度布线,也可大大减小实现多个芯片互连功能所需的基板或管壳面积。通过硅转接板的导电通孔,可实现多个倒装焊芯片在管壳中的高密度集成,因此将硅转接板应用于裸芯片倒装焊是实现电子器件小型化、多功能化的关键之一。
然而目前倒装焊设备一般为针对单个倒装焊芯片同时实现对位、贴片及焊接,而当需要在同一个硅转接板上倒装焊多个芯片以便形成多芯片/硅转接板组件时,若依次对各芯片进行对位、贴片及焊接,在焊接次序靠后的芯片时,已焊接至硅转接板的芯片上的焊球会产生重熔问题,对焊点性能造成不良影响。在同一管壳上焊接多个多芯片/硅转接板组件时,利用倒装焊设备依次对各个组件进行对位、贴片及焊接,也存在同样的问题。因此仅靠倒装焊设备进行多芯片、多组件倒装焊时,焊球重熔问题是无法避免的。另外在进行若干个多芯片/硅转接板组件的焊接时,由于硅转接板尺寸较大,且进行拾取时需在芯片表面进行,从而无法保证拾取点在硅转接板的中心位置,因此与单个单芯贴装相比,进行若干个多芯片/硅转接板组件贴片时更容易在水平方向发生倾斜,导致贴装时压力不均而压裂硅转接板或焊后倾斜、虚焊、开路问题。
发明内容
针对现有技术中存在的问题,本发明提供一种若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装方法,能够显著提高组装效率,减小器件尺寸,提高倒装焊质量,兼容不同厚度、尺寸的倒装焊芯片组装,具有重要的社会效益和经济价值。
本发明是通过以下技术方案来实现:
一种若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装方法,包括如下步骤:
步骤1,在硅转接板的倒装焊区域均匀涂抹膏状助焊剂,或用若干个倒装焊芯片蘸取液体助焊剂,之后将若干个倒装焊芯片焊球分别与硅转接板焊盘对位后进行贴片,得到一个初步形成的多芯片/硅转接板组件;
步骤2,将上述初步形成的多芯片/硅转接板组件进行真空回流焊接,温度高于焊球材料的熔点30~50℃,之后清洗再进行倒装焊芯片的底部填充及硅转接板背面的植球,得到一个多芯片/硅转接板组件;
步骤3,重复步骤1~步骤2得到若干个多芯片/硅转接板组件;
步骤4,在管壳的倒装焊区域均匀涂抹助焊剂,选取靠近若干个多芯片/硅转接板组件的中心位置和高度最高的倒装焊芯片表面作为拾取点,之后分别将若干个多芯片/硅转接板组件与管壳对位后进行贴片;
步骤5,将贴片后形成的模块进行真空回流焊接,温度高于焊球材料的熔点30~50℃,之后清洗再进行硅转接板的底部填充,完成若干个多芯片/硅转接板组件的倒装焊叠层组装。
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