[发明专利]基板保持装置以及基板保持方法

说明书

本发明涉及基板保持构件、基板保持装置以及基板保持方法。提供一种用于抑制异物(磨损粉末等)附着于基板的技术。具有：基体，其具有保持基板(10)的保持面(110X)；以及粘附单元(120)，其具有利用粘附力粘贴于基板(10)的粘附垫(123)，设置为能够相对于所述基体移动，粘附单元(120)具有：轴部(121)，其在一端侧连结有粘附垫(123)；以及作为磁性构件的永磁体(125)，其连结于轴部(121)的另一端侧。

技术领域

本发明涉及基板保持构件、基板保持装置、基板处理装置、基板保持方法、成膜方法以及电子器件的制造方法。

背景技术

在基板上进行成膜时等对基板进行各种处理的情况下，在将基板保持于基板保持构件(基板载体)的状态下进行各种处理。作为使基板保持于基板保持构件的方法，研究了通过夹具机构等夹持基板的周边部分的方法、使用静电吸盘的方法、使用粘附垫这样的粘附构件的方法等。

在专利文献1中记载了如下结构：通过设置在保持板上的粘附构件(粘附垫)来保持玻璃基板，将被粘附保持的玻璃基板连同保持板一起输送和翻转，在粘附保持于保持板的状态下对玻璃基板进行处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-55093号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明的发明人经过深入研究，结果得知在使用粘附垫保持基板的情况下，为了有效地进行粘附垫相对于基板的粘贴、剥离，优选采用使粘附垫相对于基板移动的结构。作为能够移动粘附垫的机构，可考虑机械地移动粘附垫的机构，例如滚珠丝杠机构、齿轮齿条副方式实现的致动器。然而，这样的机械结构包含滑动部分，因此，有时会产生因滑动磨损导致的异物并附着于基板上。若这样产生的异物附着于基板，则会对形成于基板上的膜、电子器件的特性造成影响，因此并不优选。

本发明是鉴于该课题而完成的，其目的在于提供一种用于抑制异物(磨损粉末等)附着于基板的技术。

用于解决问题的手段

本发明为了解决上述课题，采用了以下的手段。

即，本发明的基板保持构件具有：

基体，其具有保持基板的保持面；以及

粘附单元，其具有利用粘附力粘贴于基板的粘附垫，设置为能够相对于所述基体移动，

所述粘附单元具有：

轴部，其在一端侧连结有所述粘附垫；以及

磁性构件，其连结于所述轴部的另一端侧。

发明的效果

如以上说明的那样，根据本发明，能够抑制异物(磨损粉末等)附着于基板。

附图说明

图1是本发明的实施例的基板保持构件的俯视图。

图2是本发明的实施例的基板保持构件的示意性的剖视图。

图3是本发明的实施例的基板保持构件的示意性的剖视图。

图4是本发明的实施例的基板保持装置的动作说明图。

图5是本发明的实施例的基板保持装置的动作说明图。

图6是本发明的实施例的基板保持装置的动作说明图。

图7是本发明的实施例的基板保持装置的动作说明图。

图8是本发明的实施例的翻转装置的动作说明图。

图9是本发明的实施例的成膜装置的动作说明图。