[发明专利]振镜检测装置、振镜检测方法和可读存储介质

权利要求书

1.一种振镜检测装置，其特征在于，所述振镜检测装置包括：

光源，所述光源用于发射入射光束，所述入射光束的传播光路中设置振镜，所述振镜接收所述入射光束并产生反射光束；

光电传感器，所述光电传感器设于所述反射光束的传播光路中，所述光电传感器接收所述反射光束，并获得所述反射光束的移动路径；

显示器件，所述显示器件电性连接于所述光电传感器，所述显示器件接收所述移动路径，所述显示器件用于将所述移动路径转化为脉冲图形；以及

检测终端，所述检测终端电性连接于所述显示器件，所述检测终端获取所述脉冲图形，所述检测终端基于所述脉冲图形检测获得所述振镜的振动参数。

2.如权利要求1所述的振镜检测装置，其特征在于，所述振镜检测装置还包括：半反半透镜，所述半反半透镜设于振镜和所述光源之间的光路中，所述光电传感器设于所述半反半透镜背向所述振镜的一侧。

3.如权利要求1所述的振镜检装置，其特征在于，所述光源包括激光源，所述显示器件包括示波器，所述光电传感器包括光电位置传感器。

4.如权利要求1所述的振镜检装置，其特征在于，所述振镜检测装置还包括箱体，所述箱体具有封闭腔体，所述光源和所述光电传感器设于所述封闭腔体。

5.一种振镜检测方法，其特征在于，所述振镜检测方法包括：

向处于振镜发射入射光束，其中，所述入射光束经过所述振镜产生反射光束；

获取所述反射光束的移动路径，将所述移动路径转化为脉冲图形；

获取所述脉冲图形，基于所述脉冲图形获得所述振镜的振动参数。

6.如权利要求5所述的振镜检测方法，其特征在于，所述振动参数包括振镜的振动切换速度；

所述基于所述脉冲图形获得所述振镜的振动参数的步骤，包括：

测量所述脉冲图形中的边沿时间，依据所述边沿时间计算得出所述振镜的振动切换速度。

7.如权利要求5所述的振镜检测方法，其特征在于，所述振动参数还包括振镜的振动稳定性；

所述基于所述脉冲图形获得所述振镜的振动参数的步骤，包括：

测量所述脉冲图形中的过冲及振铃，依据所述过冲和所述振铃计算得出所述振镜的振动稳定性。

8.如权利要求5所述的振镜检测方法，其特征在于，所述振动参数包括振镜的摆动角度；

所述基于所述脉冲图形获得所述振镜的振动参数的步骤，包括：

测量所述脉冲图形中的振动幅度，依据所述振动幅度计算得出所述振镜的摆动角度。

9.如权利要求5至8中任一项所述的振镜检测方法，其特征在于，所述向处于振镜发射入射光束的步骤之前，包括：

提供黑暗封闭环境，将所述振镜置于所述黑暗封闭环境中。

10.一种可读存储介质，其特征在于，所述可读存储介质上存储有振镜检测程序，所述振镜检测程序被处理器执行时实现如权利要求5至9中任一项所述的振镜检测方法的步骤。