[发明专利]一种石英产品的固定方法

说明书

本发明公开了一种石英产品的固定方法，包括以下步骤：（1）清洁石英定盘和待加工的石英产品的表面；（2）在石英定盘上标记与待加工的石英产品相适配的粘蜡区域；（3）将石英定盘和待加工的石英产品分别加热至65℃以上；（4）在石英定盘上标记有粘蜡区域内均匀涂抹石蜡，使石蜡融化形成小薄层；（5）将待加工的石英产品放置到石英定盘的粘蜡区域内；（6）下压待加工的石英产品挤出小薄层内的气泡；（7）使用擦拭纸将待加工的石英产品四周多余的石蜡擦除；（8）通过风冷的方式使小薄层快速降温凝固，使待加工的石英产品固定在石英定盘的表面；优点是有利于提高加工精度，且不会留下接刀痕。

技术领域

本发明属于半导体加工技术领域，尤其是涉及一种石英产品的固定方法。

背景技术

石英产品在加工时，需要先将待加工的石英产品固定到加工中心上，然后通过加工中心将待加工的石英产品加工至指定的形状。传统的固定待加工的石英产品的方法如图1所示，在加工中心1上设置多个抵块3，多个抵块3分布在待加工的石英产品2的四周并与待加工的石英产品2的侧面抵接，由于该待加工的石英产品2的部分侧面被抵块3遮挡，刀具仅能从上往下加工至接近抵块3的高度处，然后将该待加工的石英产品2翻面进行加工，无法一次完成。

传统的固定方法存在以下多个问题：1、该固定方法对应的加工精度仅为0.05mm；2、抵块在反复使用的过程中，抵块的抵接面会形变，累积误差增大，影响加工精度；3、刀具会在待加工的石英产品的侧面留下接刀痕，影响产品外观。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种有利于提高加工精度的石英产品的粘合方法，且不会留下接刀痕。

本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为：一种石英产品的固定方法，包括以下步骤：

（1）清洁石英定盘和待加工的石英产品的表面；

（2）在石英定盘上标记与待加工的石英产品相适配的粘蜡区域；

（3）将石英定盘和待加工的石英产品分别加热至65℃以上；

（4）在石英定盘上标记有粘蜡区域内均匀涂抹石蜡，使石蜡融化形成小薄层；

（5）将待加工的石英产品放置到石英定盘的粘蜡区域内；

（6）下压待加工的石英产品挤出小薄层内的气泡；

（7）使用擦拭纸将待加工的石英产品四周多余的石蜡擦除；

（8）通过风冷的方式使小薄层快速降温凝固，使待加工的石英产品固定在石英定盘的表面。

所述的步骤（1）具体的处理方式为将石英定盘需要粘着的一面以及待加工的石英产品需要粘着的一面用热水冲淋，然后用含有洗净粉泡沫的海绵擦拭干净，最后用气枪吹干。该结构中，石英定盘需要粘着的一面以及待加工的石英产品需要粘着的一面要求无灰尘、异物，确保后续石英定盘与待加工的石英产品粘着时稳定、可靠。

所述的步骤（3）具体的处理方式为将石英定盘和待加工的石英产品分别放置到90℃的加热平台上进行加热。该结构中，将加热平台的温度设置在90℃，石英定盘和待加工的石英产品能够快速升温至65℃以上，且石英定盘和待加工的石英产品最高仅能被加热到90℃，不会发生加热温度过高可能存在的问题。

所述的步骤（4）中的小薄层的厚度范围为0.3mm～0.6mm。该结构中，小薄层冷却凝固后将待加工的石英产品与石英定盘粘着，抗拉力大于100N/cm2，抗剪切力大于60N/cm2，能够有效粘着待加工的石英产品，可靠性较好，若小薄层的厚度小于0.3mm，无法起到有效粘着待加工的石英产品的目的，若小薄层的厚度大于0.6mm，多余的石蜡也会在步骤（6）时被挤出，浪费石蜡，且增加步骤（7）中擦拭石蜡的难度。