[发明专利]磁板及其制作方法

说明书

本发明公开了一种磁板，包括：磁铁板，沿磁铁板的宽度方向依次包括左侧区域、中部区域及右侧区域，左侧区域和右侧区域的宽度均占中部区域的1/6至1/8；多组磁钢组件，每组磁钢组件由多个沿磁铁板长度方向排列的磁钢组成，多个磁钢的长度方向均与磁铁板的长度方向一致，每组磁钢组件内的多个磁钢的宽度相等，多组磁钢组件沿磁铁板的宽度方向排列，位于中部区域的各个磁钢组件的宽度相等，位于左侧区域和右侧区域中的至少部分磁钢组件的宽度小于中部区域的磁钢组件的宽度。本发明还公开了一种磁板的制作方法。可以降低磁板边缘区域的磁力，提升磁板磁力的均一性。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，特别涉及一种磁板及其制作方法。

背景技术

OLED又称为有机发光半导体，属于一种电流型的有机发光器件，是通过载流子的注入和复合而致发光的现象。在OLED异军突起的时候，人们突然发现，OLED面板制造的关键设备，真空蒸镀机，尤其是高端真空蒸镀机，其中的磁板的设计极为关键，磁板磁力的均一性直接影响着OLED屏的质量。

现有磁板上排列有若干磁钢，但若干磁钢的大小相同，会导致磁板磁力的均一性较差，最终将影响加工产品的质量。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种磁板及其制作方法，能够提升磁板磁力的均一性。

根据本发明第一方面实施例的一种磁板，包括：磁铁板，沿所述磁铁板的宽度方向依次包括左侧区域、中部区域及右侧区域，所述左侧区域和所述右侧区域的宽度均占所述中部区域的1/6至1/8；多组磁钢组件，每组所述磁钢组件由多个沿所述磁铁板长度方向排列的磁钢组成，多个所述磁钢的长度方向均与所述磁铁板的长度方向一致，每组所述磁钢组件内的多个所述磁钢的宽度相等，多组所述磁钢组件沿所述磁铁板的宽度方向排列，位于所述中部区域的各个所述磁钢组件的宽度相等，位于所述左侧区域和所述右侧区域中的至少部分所述磁钢组件的宽度小于所述中部区域的所述磁钢组件的宽度。

至少具有如下有益效果：磁铁板沿自身宽度方向依次包括左侧区域、中部区域及右侧区域，磁铁板的左侧区域和右侧区域为磁铁板的边缘区域，也是磁板的边缘区域，磁板的边缘区域由于无法反射磁力线，会导致左侧区域和右侧区域位置上的磁力高于中部区域位置上的磁力。因此，通过调整位于磁铁板的左侧区域和右侧区域中的至少部分磁钢组件的宽度，使位于左侧区域和右侧区域中的至少部分磁钢组件的宽度小于中部区域的磁钢组件的宽度，可以减少磁板边缘区域上的磁力线的反射弧，从而可以降低磁板边缘区域的磁力，提升磁板磁力的均一性。此外，磁板上磁力高于中部区域的单侧边缘区域的宽度为中部区域的1/6至1/8，因此在以上宽度内的左侧区域和右侧区域中排列宽度较小的磁钢组件可以有效减小磁板边缘区域的磁力。

根据本发明的一些实施例，相邻两组所述磁钢组件之间的中心距为11mm。

根据本发明的一些实施例，位于所述中部区域的所述磁钢组件的宽度为9mm，位于所述左侧区域和所述右侧区域上最靠近所述磁铁板外侧的所述磁钢组件的宽度为6.21mm。

根据本发明的一些实施例，每组所述磁钢组件内的多个所述磁钢的同一磁极的方向一致，均同时朝向所述磁铁板或背离所述磁铁板，相邻两组所述磁钢组件内的所述磁钢的磁极朝向相反。

根据本发明的一些实施例，所述磁钢至少由Dy、Fe以及PrNd组成。

根据本发明的一些实施例，所述Dy占比2％，所述Fe占比64.58％，所述PrNd占比29.5％。

根据本发明的一些实施例，多组所述磁钢组件相对所述磁铁板的中心线对称设置，相互对称的两组所述磁钢组件的宽度相等。

根据本发明的一些实施例，所述磁铁板上开设有沿所述磁铁板的长度方向延伸的安装槽，多个所述安装槽沿所述磁铁板的宽度方向排列，多组所述磁钢组件对应设置于多个所述安装槽内。