[发明专利]监视系统

权利要求书

1.一种监视系统，其特征在于：

所述监视系统是监视用壳体将基片处理装置密闭、将所述密闭的空间用规定的气体气氛充满的密闭装置的监视系统，其包括：

将所述壳体与所述基片处理装置之间的空间中的、人能够进入的区域作为检测区域的激光传感器；和

控制装置，其基于所述激光传感器的检测结果对所述基片处理装置或所述密闭装置输出控制信号，或者输出基于所述检测结果的通知信号。

2.如权利要求1所述的监视系统，其特征在于：

所述密闭装置具有用于将所述密闭的空间用所述规定的气体气氛充满的、供给规定的气体的供给部，

所述控制装置在由所述激光传感器检测到物体时，对所述密闭装置输出不进行用所述供给部供给所述规定的气体的动作的控制信号。

3.如权利要求1或2所述的监视系统，其特征在于：

还包括拍摄所述人能够进入的区域的拍摄装置，

在由所述激光传感器检测到物体的情况下，用所述拍摄装置拍摄至少检测到所述物体的区域。

4.如权利要求3所述的监视系统，其特征在于：

将所述激光传感器的检测结果与所述拍摄到的图像相关联。

5.如权利要求1或2所述的监视系统，其特征在于：

所述密闭装置具有用于出入所述密闭的空间内的可开闭的门和该门的上锁机构，

所述控制装置基于所述激光传感器的检测结果，输出用于切换所述门的上锁机构的动作的信号。

6.如权利要求1或2所述的监视系统，其特征在于：

基于所述激光传感器的检测结果对所述基片处理装置输出的控制信号，是用于将所述基片处理装置联锁的信号。