[发明专利]具有微机电光学系统的图像转换模块及应用其的方法

权利要求书

1.一种图像转换模块(09)，包括：

光学接口(10)，所述光学接口(10)用于建立所述图像转换模块(09)的光学路径(07)；

–分束元件(13)，所述分束元件(13)在所述光学路径(07)上，其中，所述分束元件(13)被配置用于将在所述光学路径(07)上进入所述光学接口(10)的光束分成第一光学子路径(14)和第二光学子路径(16)；

–第一光电子模块(21)，所述第一光电子模块(21)具有图像传感器(22)；

–微机电光学系统(17)，所述微机电光学系统(17)被配置用于增大被导向所述第一光电子模块(21)的所述第一光学子路径(14)上的景深；以及

–第二光电子模块(24)，所述第二光电子模块(24)包括在所述第二光学子路径(16)上的电子传感器(26)，其中，所述第二光电子模块(24)被配置用于获取关于所述样本(02)的附加数据。

2.根据权利要求1所述的图像转换模块(09)，其特征在于，所述第二光电子模块(24)的所述电子传感器(26)是附加图像传感器，或所述第二光电子模块(24)的所述电子传感器(26)被配置用于测量所述样本(02)的几何性质，或所述第二光电子模块(24)的所述电子传感器(26)被配置用于检测所述样本(02)的特征。

3.根据权利要求2所述的图像转换模块(09)，其特征在于，所述第二光电子模块(24)的所述附加图像传感器(26)是偏振图像传感器、高光谱图像传感器或热图像传感器。

4.根据权利要求1至3中的一项所述的图像转换模块(09)，其特征在于，所述微机电光学系统(17)包括可移动微镜(18)的阵列，其中，所述可移动微镜(18)中的每一个示出两个旋转自由度和一个平移自由度。

5.根据权利要求1至3中的一项所述的图像转换模块(09)，其特征在于，所述分束元件是分束器(13)、色彩分束器或偏振分束器，其中，所述分束器(13)、所述色彩分束器或所述偏振分束器被导向所述第一光电子模块(21)。

6.根据权利要求1至3中的一项所述的图像转换模块(09)，其特征在于，所述第一光学子路径(14)和所述第二光学子路径(16)在所述分束元件(13)内彼此交叉。

7.根据权利要求1至3中的一项所述的图像转换模块(09)，其特征在于，所述分束元件(13)位于所述微机电光学系统(17)与所述光学接口(10)之间，其中，所述分束元件(13)位于所述第一光电子模块(21)与所述第二光电子模块(24)之间。

8.根据权利要求1至3中的一项所述的图像转换模块(09)，其特征在于，其包括机械接口(08)，所述机械接口(08)用于将所述图像转换模块(09)可移除地安装到光学仪器的模块支架。

9.一种用于使用具有根据权利要求1所述的图像转换模块(09)的光学仪器检查样本(02)的方法，其中，所述方法包括以下步骤：

–使用所述光学仪器(01)、所述第一光电子模块(21)和所述微机电光学系统(17)对所述样本(02)进行成像，其中，所得图像示出增大的景深；

–使用所述第二光电子模块(24)记录关于所述样本(02)的附加数据；以及

–显示具有所述增大的景深和所述附加数据的所述图像。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述附加数据是所述样本(02)的附加图像、关于所述样本(02)的对比数据、关于所述样本(02)的光谱数据、关于所述样本(02)的偏振数据、关于所述样本(02)的几何性质的数据、和/或关于所述样本(02)的特征的数据。