[发明专利]一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备及基于设备的加工工艺

权利要求书

1.一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备，包括入口置换室(1)，其特征在于，所述入口置换室(1)侧壁安装有辊道窑体结构，所述辊道窑体结构包括升温箱(3)、恒温箱(4)、冷却箱(5)、CVD gas打入管(11)、冷却水喷头(12)、辊道传送带(13)和电加热器(14)，所述辊道窑体结构远离入口置换室(1)的一侧安装有出口置换室(6)，所述辊道窑体结构侧壁安装有固定结构，所述固定结构包括固定块(9)和支撑底座(10)，所述辊道窑体结构顶端安装有排气结构(2)，所述排气结构(2)包括排气处理炉(201)、集尘机(202)和排气风机(203)，所述辊道窑体结构远离排气结构(2)的一侧安装有气体打入结构，所述气体打入结构包括惰性气体打入管道(7)和惰性气体打入阀(8)。

2.根据权利要求1所述的一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备，其特征在于，所述惰性气体打入管道(7)呈均匀分布在升温箱(3)、恒温箱(4)和冷却箱(5)侧壁，且惰性气体打入管道(7)均贯穿升温箱(3)、恒温箱(4)和冷却箱(5)的侧壁，所述惰性气体打入阀(8)安装在惰性气体打入管道(7)靠近升温箱(3)、恒温箱(4)和冷却箱(5)的一端。

3.根据权利要求1所述的一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备，其特征在于，所述恒温箱(4)连接升温箱(3)和冷却箱(5)，所述入口置换室(1)与升温箱(3)远离恒温箱(4)的一侧连接，所述出口置换室(6)与冷却箱(5)远离恒温箱(4)的一侧连接，所述CVD gas打入管(11)位于恒温箱(4)内侧，所述冷却水喷头(12)位于冷却箱(5)内侧，所述电加热器(14)呈均匀分布在升温箱(3)和恒温箱(4)内侧，所述辊道传送带(13)贯穿升温箱(3)、恒温箱(4)和冷却箱(5)。

4.根据权利要求1所述的一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备，其特征在于，所述辊道窑体结构贯穿固定块(9)，所述固定块(9)底端侧壁与支撑底座(10)固定连接，所述固定块(9)和支撑底座(10)均以辊道窑体结构的中轴线为对称轴呈对称分布。

5.根据权利要求1所述的一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备，其特征在于，所述排气处理炉(201)与辊道窑体结构的顶端连接，且排气处理炉(201)与辊道窑体结构的侧壁，所述排气处理炉(201)远离辊道窑体结构的一侧的排气口与集尘机(202)的入口连接，所述集尘机(202)远离排气处理炉(201)一侧的输出口与排气风机(203)的输入口连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于磷酸铁锂基于CVD工艺的加工设备，其特征在于，所述入口置换室(1)、辊道窑体结构、出口置换室(6)、固定结构、排气结构(2)和气体打入结构的连接处均设置有密封连接块和密封垫片。

7.一种基于如权利要求1～6所述设备的磷酸铁锂基于CVD的加工工艺，包括如下步骤:

S1、首先需要烧结的磷酸铁锂装入石墨容器内,根据窑炉升温曲线，开启入口置换室，将需要烧结的磷酸铁锂从入口置换室置入辊道窑体结构内，随即根据传送需求开启辊道窑体结构中的辊道传送带、惰性气体打入阀、电加热器、排气结构、CVD gas打入管、冷却水喷头和出口置换室，辊道传送带工作转动且移动，使置入的需要烧结的磷酸铁锂的原料通过辊道窑体结构的辊道传送带进行输送；

S2、通过输送使原料依次经过升温段、恒温段和冷却段进行烧成，首先进行升温段，在电加热器工作对辊道窑体结构进行加热，进行烧成，烧成过程中惰性气体打入阀开启处于开放状态，使惰性气体通过惰性气体打入管道和惰性气体打入阀打入辊道窑体结构中，使辊道窑体结构能达到磷酸铁锂烧成所需要的微量氧环境要求；

S3、进入恒温段后，通过开启恒温段的CVD gas打入管，将CVD gas通过CVD gas打入管打入辊道窑体结构中，且进行均匀喷洒，使得磷酸铁锂原料在烧成最高温度的时候CVD gas能够参与烧成，且打入后的CVD gas在高温下即刻裂解，裂解后的产物均匀包覆在磷酸铁锂原料表面；

S4、再进入冷却段，排气结构2工作将烧成产生的气体排入排气处理炉，排气处理炉对气体进行燃烧，将尾气内的有害气体或者沥青处理掉，之后再通过管道到达集尘机内，将燃烧过程中产生的粉尘进行过滤、收集，最终使得排放到大气中的气体符合排放标准，通过排气风机排出，在冷却段开启冷却水喷头，使冷却水通过冷却水喷头均匀对辊道窑体结构内部烧成的磷酸铁锂原料进行冷却，完成烧成，烧成完毕的产品经过出口置换室整列后移送至外循环线。