[发明专利]靶材背板及其制作方法

说明书

本发明公开了一种靶材背板，包括：背板主体，正面设置有靶材，背面设置有流道，流道具有进液口和出液口，流道可供冷却液流动；盖板，设置于背板主体的背面并遮盖流道；密封圈，设置于盖板与所述流道之间，用于密封所述流道。使用时，可将靶材设置于背板主体的正面，使冷却液可从位于背板主体背面的流道进液口流入，从出液口流出，冷却液可将位于背板主体正面的靶材的热量带走，从而降低靶材在溅射镀膜过程中的温度，进而可提升镀膜质量。此外，设置于盖板与流道之间的密封圈可对流道起到密封作用。本发明还公开了一种靶材背板的制作方法，可以使最终得到的靶材背板尺寸更为精确，且可有效减小靶材背板长期使用后的变形量。

技术领域

本发明涉及溅射镀膜领域，特别涉及一种靶材背板及其制作方法。

背景技术

靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，最主要使用在微电子，显示器，存储器以及光学镀膜等产业上。

溅射镀膜是利用离子源产生的离子轰击在靶材表面，使靶原子离开靶被溅射出来，随后沉积在基体表面的过程。溅射镀膜具有以下显著的优点：膜层的结合力强，膜厚稳定性较好，而且膜层厚度不会变化，膜厚的稳定性可归结为膜厚良好的可控性和重复性。

目前，在进行靶材溅射镀膜时，高速度流的离子束流轰击靶材表面，会使靶材产生大量的热量，从而使靶材温度升高，会影响镀膜质量。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种靶材背板及其制作方法，能够降低靶材在溅射镀膜过程中的温度，提升镀膜质量。

根据本发明第一方面实施例的一种靶材背板，包括：背板主体，正面设置有靶材，背面设置有流道，所述流道具有进液口和出液口，所述流道可供冷却液流动；盖板，设置于所述背板主体的背面并遮盖所述流道；密封圈，设置于所述盖板与所述流道之间，用于密封所述流道。

至少具有如下有益效果：使用时，可将靶材设置于背板主体的正面，使冷却液可从位于背板主体背面的流道进液口流入，从出液口流出，冷却液可将位于背板主体正面的靶材的热量带走，从而降低靶材在溅射镀膜过程中的温度，进而可提升镀膜质量。此外，设置于盖板与流道之间的密封圈可对流道起到密封作用。

根据本发明的一些实施例，所述流道呈U型，所述进液口和所述出液口位于所述背板主体的同一端。

根据本发明第二方面实施例的一种靶材背板的制作方法，包括以下步骤：步骤1、准备相应尺寸的背板主体，在所述背板主体的背面加工出流道；步骤2、加工盖板，使所述盖板可遮盖所述流道；步骤3、将密封圈设置于所述盖板与所述流道之间，对所述背板主体及所述盖板进行焊接，使所述背板主体及所述盖板组合为靶材背板半成品；步骤4、对以上组合后的所述靶材背板半成品进行调平；步骤5、对所述流道进行测漏试验，以得到靶材背板。

至少具有如下有益效果：首先加工背板主体及盖板，而后将背板主体与盖板焊接为一体，成为靶材背板半成品，再对靶材背板半成品进行调平，最后进行测漏实验。以上靶材背板的加工方法简便，生产效率高。通过对靶材背板半成品进行调平，可以使最终得到的靶材背板尺寸更为精确，并可有效减小靶材背板长期使用后的变形量。

根据本发明的一些实施例，在所述步骤1中，所述背板主体上正面和背面的厚度均留有余量；在所述步骤2中，所述盖板的厚度留有余量。

根据本发明的一些实施例，在所述步骤1中，所述背板主体上正面和背面均预留2mm至3mm的余量，在所述步骤2中，所述盖板的厚度预留2mm至3mm的余量。