[发明专利]一种温控设备及方法

说明书

本发明实施例提供一种温控设备及方法，涉及半导体加工技术领域，温控设备包括：循环系统、加热器、制冷系统和温度控制装置，循环系统与负载设备连通；加热器用于对循环系统输送给负载设备的液体进行加热；通过采用两级控制方式，制冷Cout与加热Hout同时参与温度控制，与传统单一的PID温度控制，温度控制精度更高，响应速度更快。与传统温控技术中只采用加热器进行加热的温控方式不同，本发明实施例的温控设备采用压缩机的排气侧的热量进行温度的控制，实现了节能控制。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种温控设备及方法。

背景技术

半导体温控装置作为半导体集成电路IC制造过程中的重要设备，在集成电路IC制造的刻蚀工艺中要求保持恒定的温度输出用于控制刻蚀设备工艺腔，温度控制精度要求高。现有的半导体温控装置通过制冷、加热环节对温度进行控制，但是在实际使用中半导体温控装置存在温控精度低和温控反应时间长，以及能耗高的问题。

发明内容

本发明实施例提供一种温控设备及方法，用以解决现有的温控装置存在温度精度低和温控过程时间长的问题。

本发明实施例提供一种温控设备，所述温控设备包括：

循环系统，所述循环系统与负载设备连通；

加热器，所述加热器用于对所述循环系统输送给所述负载设备的液体进行加热；

制冷系统，所述制冷系统包括：蒸发器、板式换热器、压缩机、冷凝器、第三温度传感器、第一电子膨胀阀和第二电子膨胀阀，所述压缩机的出口分别与所述冷凝器的第一进口、所述第二电子膨胀阀的进口连通，所述冷凝器的第一出口与所述第一电子膨胀阀的进口连通，所述第一电子膨胀阀的出口与所述蒸发器的第一进口连通，所述第二电子膨胀阀的出口与所述板式换热器的第一进口连通，所述蒸发器的第一出口与所述板式换热器的第一出口共同连通所述压缩机的进口，所述蒸发器的第二进口与所述循环系统的出液口连通，所述蒸发器的第二出口与所述板式换热器的第二进口连通，所述板式换热器的第二出口与所述循环系统的进液口连通，所述第三温度传感器设置于所述蒸发器的第二出口；

温度控制装置，所述温度控制装置分别与第一电子膨胀阀、第二电子膨胀阀、第三温度传感器、压缩机电连接。

根据本发明一个实施例的温控设备，所述循环系统包括：水箱、水泵、旁通手阀、第一温度传感器、出口手动阀和回口手动阀，所述水箱的进液口与所述板式换热器的第二出口连通，所述水箱的第一出液口与所述水泵的进液口连通，所述水箱的第二进口与所述旁通手阀的出液口连通，所述旁通手阀的进液口与所述水泵的出液口共同连通所述出口手动阀的进液口，所述出口手动阀的出液口与所述负载设备的进液口连通，所述负载设备的出液口与所述回口手动阀的进液口连通，所述回口手动阀的出液口与所述蒸发器的第二进口连通，所述第一温度传感器设置于所述水泵的出液口与所述出口手动阀的进液口之间的管线上，所述第一温度传感器与所述温度控制装置电连接。

根据本发明一个实施例的温控设备，所述循环系统还包括：压力传感器、流量传感器和第二温度传感器，所述压力传感器与所述流量传感器依次设置于所述水泵的出液口与所述出口手动阀的进液口之间的管线上；所述第二温度传感器设置于所述回口手动阀的出液口与所述蒸发器的第二进口之间的管线上，所述第二温度传感器与所述温度控制装置电连接。

根据本发明一个实施例的温控设备，所述制冷系统还包括：气液分离器，所述气液分离器的进口分别与所述蒸发器的第一出口、所述板式换热器的第一出口连通，所述气液分离器的出口与所述压缩机的进口连通。

根据本发明一个实施例的温控设备，所述制冷系统还包括：第四温度传感器、干燥过滤器和视液镜，所述第四温度传感器设置于所述压缩机的出口与所述冷凝器的第一进口之间的管线上；所述干燥过滤器和所述视液镜依次设置于所述冷凝器的第一出口与所述第一电子膨胀阀的进口之间的管线上，所述第四温度传感器与所述温度控制装置电连接。