[发明专利]芯片有效
申请号: | 202011183321.1 | 申请日: | 2020-10-29 |
公开(公告)号: | CN112289816B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 郑翔及;赖一丞;王信杰;郭世斌;陈国祥;王友志;陈忠宏 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 傅磊;黄艳 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 芯片 | ||
本发明提供了一种芯片。芯片包括可挠基板、薄膜晶体管、重布线层、第一电力轨线层及第二电力轨线层。薄膜晶体管设置于可挠基板上。重布线层设置于薄膜晶体管上方。第一电力轨线层设置于重布线层上方,第一电力轨线层用以提供第一电压至薄膜晶体管。第二电力轨线层设置于第一电力轨线层上方,第二电力轨线层用以提供第二电压至薄膜晶体管,其中第二电力轨线层以网格形状设置。
技术领域
本发明涉及一种芯片,且特别涉及一种具有可挠基板的芯片。
背景技术
现有技术中,应用于可挠基板的芯片为了避免芯片在重复挠曲的过程中产生崩裂,芯片中无法设置多层的金属走线结构。在此情况下,较少层的金属走线导致芯片中的晶体管密度下降,以及芯片的制造成本上升。
发明内容
本发明提供一种芯片,应用于可挠基板。芯片中可设置多层金属走线结构,且同时避免因为多层金属走线结构所产生的崩裂风险。
本发明的一种芯片包括可挠基板、薄膜晶体管、重布线层、第一电力轨线层及第二电力轨线层。薄膜晶体管设置于可挠基板上。重布线层设置于薄膜晶体管上方。第一电力轨线层设置于重布线层上方,第一电力轨线层用以提供第一电压至薄膜晶体管。第二电力轨线层设置于第一电力轨线层上方,第二电力轨线层用以提供第二电压至薄膜晶体管,其中第二电力轨线层以网格形状设置。
基于上述,芯片中通过网格形状设置多层金属走线结构,使芯片可有效降低崩裂风险,因此进一步提升芯片中的晶体管密度,并降低芯片的制造成本。
附图说明
图1A为本发明实施例一芯片的剖面示意图。
图1B为本发明另一实施例一芯片的剖面示意图。
图2A~2D为本发明实施例的电力轨线层由垂直方向上向下看的俯视示意图。
图3A~3D为本发明实施例电力轨线层的设置示意图。
图4A为本发明一实施例电力轨线层的设置示意图。
图4B为本发明一实施例电力轨线层的设置示意图。
图4C为本发明一实施例电力轨线层的设置示意图。
附图标记说明:
1a、1b:芯片
10:可挠基板
11、11a、11b:薄膜晶体管
12:重布线层
12v、13v、14v、15v:通孔
13、13i~13k、13’、14、14a~14k:电力轨线层
15:天线
具体实施方式
图1A为本发明实施例一芯片1a的剖面示意图。芯片1a包含有可挠基板10、薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)11、重布线层12及电力轨线层13、14。图1A中所示出的芯片1a中,薄膜晶体管11的数量及配置关系可依据不同的设计需求调整,本发明不以此限。薄膜晶体管11设置于可挠基板10上。重布线层12设置于薄膜晶体管11上。电力轨线层13设置于重布线层12上。电力轨线层14设置于电力轨线层13上。整体而言,通过将电力轨线层13、14设置于重布线层12上,芯片1a可有效的提高芯片1a中的晶体管密度,且降低芯片1a所需求的面积,故芯片1a可有效降低制造成本。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的