[发明专利]芯片有效

专利信息
申请号: 202011183321.1 申请日: 2020-10-29
公开(公告)号: CN112289816B 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: 郑翔及;赖一丞;王信杰;郭世斌;陈国祥;王友志;陈忠宏 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 傅磊;黄艳
地址: 中国台*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 芯片
【说明书】:

发明提供了一种芯片。芯片包括可挠基板、薄膜晶体管、重布线层、第一电力轨线层及第二电力轨线层。薄膜晶体管设置于可挠基板上。重布线层设置于薄膜晶体管上方。第一电力轨线层设置于重布线层上方,第一电力轨线层用以提供第一电压至薄膜晶体管。第二电力轨线层设置于第一电力轨线层上方,第二电力轨线层用以提供第二电压至薄膜晶体管,其中第二电力轨线层以网格形状设置。

技术领域

本发明涉及一种芯片,且特别涉及一种具有可挠基板的芯片。

背景技术

现有技术中,应用于可挠基板的芯片为了避免芯片在重复挠曲的过程中产生崩裂,芯片中无法设置多层的金属走线结构。在此情况下,较少层的金属走线导致芯片中的晶体管密度下降,以及芯片的制造成本上升。

发明内容

本发明提供一种芯片,应用于可挠基板。芯片中可设置多层金属走线结构,且同时避免因为多层金属走线结构所产生的崩裂风险。

本发明的一种芯片包括可挠基板、薄膜晶体管、重布线层、第一电力轨线层及第二电力轨线层。薄膜晶体管设置于可挠基板上。重布线层设置于薄膜晶体管上方。第一电力轨线层设置于重布线层上方,第一电力轨线层用以提供第一电压至薄膜晶体管。第二电力轨线层设置于第一电力轨线层上方,第二电力轨线层用以提供第二电压至薄膜晶体管,其中第二电力轨线层以网格形状设置。

基于上述,芯片中通过网格形状设置多层金属走线结构,使芯片可有效降低崩裂风险,因此进一步提升芯片中的晶体管密度,并降低芯片的制造成本。

附图说明

图1A为本发明实施例一芯片的剖面示意图。

图1B为本发明另一实施例一芯片的剖面示意图。

图2A~2D为本发明实施例的电力轨线层由垂直方向上向下看的俯视示意图。

图3A~3D为本发明实施例电力轨线层的设置示意图。

图4A为本发明一实施例电力轨线层的设置示意图。

图4B为本发明一实施例电力轨线层的设置示意图。

图4C为本发明一实施例电力轨线层的设置示意图。

附图标记说明:

1a、1b:芯片

10:可挠基板

11、11a、11b:薄膜晶体管

12:重布线层

12v、13v、14v、15v:通孔

13、13i~13k、13’、14、14a~14k:电力轨线层

15:天线

具体实施方式

图1A为本发明实施例一芯片1a的剖面示意图。芯片1a包含有可挠基板10、薄膜晶体管(Thin Film Transistor,TFT)11、重布线层12及电力轨线层13、14。图1A中所示出的芯片1a中,薄膜晶体管11的数量及配置关系可依据不同的设计需求调整,本发明不以此限。薄膜晶体管11设置于可挠基板10上。重布线层12设置于薄膜晶体管11上。电力轨线层13设置于重布线层12上。电力轨线层14设置于电力轨线层13上。整体而言,通过将电力轨线层13、14设置于重布线层12上,芯片1a可有效的提高芯片1a中的晶体管密度,且降低芯片1a所需求的面积,故芯片1a可有效降低制造成本。

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