[发明专利]放电加工机、测定器以及工件的制造方法

说明书

本发明提供能够测定工件的微细形状的放电加工机。对安装于主轴1的电极(11)与安装于工作台(2)的工件(W)之间施加脉冲电压施加而对工件进行放电加工的放电加工机(100)具备：主轴(1)，具有把持对工件进行加工的电极以及测定工件的第1测定器(14)的把持部(12)、及旋转装置(13)；成形材料(6)，被设置成能够相对于主轴进行相对移动，具有导电性，使第1测定器成形；控制装置(3)，通过探测第1测定器与工件之间的接触来测定工件；以及电源(4)，在使第1测定器成形的情况下，对安装于把持部的材料与成形材料之间施加脉冲电压，在对工件进行加工的情况下，对安装于把持部的电极与工件之间施加脉冲电压。

技术领域

本申请涉及放电加工机、测定器以及工件的制造方法。

背景技术

以往，已知通过对电极与工件之间施加脉冲电压来对工件进行加工的放电加工机。例如，专利文献1公开了用于从工件成形中心销的放电加工机。该放电加工机具备用于对工件进行加工的加工电极和用于使加工电极成形为其它形状的二次电极。在该放电加工机中，利用加工电极使工件成形为概略形状，接着，利用二次电极使加工电极成形为其它形状。工件利用成形的加工电极进一步成形为接近中心销的形状。通过将以上的工序反复进行多次，从而使中心销成形。

另外，专利文献2公开了用于使微细形状(例如微细孔)成形于被加工物的放电加工装置。该放电加工装置具备用于使电极成形于微细轴的成形板。在该放电加工装置中，利用成形板使电极成形于微细轴。接着，载置台上的成形板被去除，在相同的载置台上安装被加工物。放电加工装置能够使用上述微细轴，使微细孔成形于被加工物。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2016/016976号

专利文献2：国际公开第2007/058110号

发明内容

一般而言，存在确认通过放电加工而成形的微细形状(例如，微细槽等凹部等)的加工精度的情况，例如将工件从加工机卸下，由其它测定器测定微细形状的情况。另外，例如，在通过测定而判断为需要工件的重新加工的情况下，需要将工件再次安装于加工机。然而，有可能难以将工件再次安装于相同的位置。

本发明是考虑如上所述的课题而完成的，其目的在于提供能够测定工件的微细形状的放电加工机。另外，本申请还与在这样的放电加工机上使用的测定器关联。进而，本申请还与能够在这样的放电加工机上实施的工件的制造方法关联。

本公开的一个方式为一种放电加工机，对安装于主轴的电极与安装于工作台的工件之间施加脉冲电压而对工件进行放电加工，其中，所述放电加工机具备：主轴，具有把持部及旋转装置，所述把持部把持对工件进行加工的电极以及测定工件的第1测定器；成形材料，被设置成能够相对于主轴进行相对移动，具有导电性，使第1测定器成形；控制装置，通过探测第1测定器与工件之间的接触来测定工件；以及电源，在使第1测定器成形的情况下，对安装于把持部的材料与成形材料之间施加脉冲电压，在对工件进行加工的情况下，对安装于把持部的电极与工件之间施加脉冲电压。

根据本公开的一个方式的放电加工机，通过对安装于把持部的材料与成形材料之间施加脉冲电压，从而在放电加工机上使第1测定器成形。根据这样的放电加工，能够使微细的测定器成形。另外，将该第1测定器安装于主轴的把持部，探测第1测定器与工件之间的接触，从而无需从放电加工机卸下工件，就能够在放电加工机上测定工件。因而，无需从放电加工机卸下工件，就能够测定工件的微细形状。