[发明专利]蒸发源装置以及蒸镀设备在审
| 申请号： | 202011186550.9 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112376018A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张欢欢;秦双亮;林超;李玉武 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/26;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南京科知维创知识产权代理有限责任公司 32270 | 代理人： | 陈丹 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 以及 设备 | ||
1.一种蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置包括：
坩埚，所述坩埚包括顶部、底部以及连接所述顶部和所述底部的侧部，所述顶部设有开口；
第一加热组件，设置于所述坩埚的周侧；
第一冷却组件，设置于所述第一加热组件靠近所述坩埚的一侧；其中，
所述第一冷却组件包括多个独立控制的冷却单元，多个所述冷却单元沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向依次排列。
2.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置还包括第二冷却组件，所述第二冷却组件设置于所述坩埚底部外侧；
优选地，所述第二冷却组件和所述坩埚底部一体成型。
3.如权利要求2所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一冷却组件设置于所述坩埚的侧部中；和/或
所述第二冷却组件设置于所述坩埚的底部中。
4.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向，所述冷却单元排列的密度逐渐变小。
5.如权利要求1或4所述的蒸发源装置，其特征在于，沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向，所述冷却单元的冷却能力逐渐变小。
6.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述蒸发源装置还包括第二加热组件，所述第二加热组件位于所述坩埚顶部外侧。
7.如权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述第一加热组件包括多个独立控制的加热单元，所述加热单元沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向依次排列。
8.如权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于，沿所述坩埚底部朝向所述坩埚顶部的方向，所述加热单元排列的密度逐渐变大。
9.如权利要求7所述的蒸发源装置，其特征在于，每一所述冷却单元和所述加热单元还包括温度传感器，用于获取对应的所述冷却单元和所述加热单元位置处的温度。
10.一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括如权利要求1-9中任意一项所述的蒸发源装置。
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