[发明专利]一种蓝宝石单晶生长系统及方法在审
申请号: | 202011186845.6 | 申请日: | 2020-10-30 |
公开(公告)号: | CN112458533A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 王健;李树新;张玉亮;宋旭波;魏超;杜迎虎;吴庆华;王志岭;王亚东;张帅 | 申请(专利权)人: | 山东新升光电科技有限责任公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/20 |
代理公司: | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人: | 张亮 |
地址: | 250000 山东省*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 生长 系统 方法 | ||
1.一种蓝宝石单晶生长系统,其特征在于,包括:蓝宝石单晶生长炉以及生长数据监控服务器;
蓝宝石单晶生长炉设有炉体(1),炉体(1)内部设有坩埚(2),坩埚(2)内称装溶液(4),蓝宝石生长晶(3)吊设在坩埚(2)的溶体(4)内;坩埚(2)的底部支撑有耐火支撑砖体(8),耐火支撑砖体(8)将坩埚(2)支撑在炉体(1)内部;
蓝宝石生长晶(3)上端连接有籽晶杆(6),籽晶杆(6)上连接有升降驱动组件(7);炉体(1)的内侧壁安装有加热机构;
生长数据监控服务器与蓝宝石单晶生长炉电连接,生长数据监控服务器获取蓝宝石晶体生长过程中的提拉速度、温度波动、真空度、氩气充入量、晶体重量及环境温度信息,并将上述信息对应与预设阈值进行比对,判断是否超阈值,如超出预设阈值,则进行报警。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶生长系统,其特征在于,
坩埚(2)采用但不限于钼材料制作;
在坩埚(2)的底部,设置厚度1mm的钼屏;钼屏与耐火支撑砖体(8)接触;
在坩埚(2)内外侧壁上贴付2~3层钼隔热屏,隔绝加热机构高强热辐射对坩埚(2)的烧蚀。
3.根据权利要求1所述的蓝宝石单晶生长系统,其特征在于,
还包括:多个蓝宝石单晶生长炉;
每个蓝宝石单晶生长炉分别设有蓝宝石单晶生长数据处理终端;
蓝宝石单晶生长数据处理终端获取蓝宝石晶体生长过程中的提拉速度、温度波动、真空度、震动、晶体重量及环境温度信息,并并将上述信息上传至生长数据监控服务器;
生长数据监控服务器分别对每个蓝宝石单晶生长数据处理终端上传数据的数据进行比对,判断是否超阈值,如超出预设阈值,则进行报警。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石单晶生长系统,其特征在于,
蓝宝石单晶生长数据处理终端向生长数据监控服务器发送数据请求;
生长数据监控服务器接收所述数据请求,并基于接收到的数据请求启动多个通信通道;
多个通信通道中的每个通信通道配置不同时间段的蓝宝石晶体生长过程数据;
每个通信通道将数据存储到数据库对应的预设储存区域;
监控服务器对存储到数据库中的每个时间段的蓝宝石晶体生长过程数据进行分析并生成分析结果。
5.根据权利要求4所述的蓝宝石单晶生长系统,其特征在于,
生长数据监控服务器向蓝宝石单晶生长数据处理终端发送数据获取指令;
接收蓝宝石单晶生长数据处理终端反馈的信息,并与所述蓝宝石单晶生长数据处理终端建立多个通信通道;
多个通信通道中的每个通信通道配置不同时间段的蓝宝石晶体生长过程数据;
每个通信通道将数据存储到数据库对应的预设储存区域;
监控服务器对存储到数据库中的每个时间段的蓝宝石晶体生长过程数据进行分析并生成分析结果。
6.根据权利要求4所述的蓝宝石单晶生长系统,其特征在于,
生长数据监控服务器还用于获取查询控制指令,配置查询通信通道,根据查询控制指令中的查询时间段,调取蓝宝石晶体生长过程数据,并进行展示。
7.根据权利要求4所述的蓝宝石单晶生长系统,其特征在于,
生长数据监控服务器还用于建立通信任务队列,把蓝宝石晶体生长过程数据按照相应的策略的放入到通信任务队列中,启用预设的通信通道,按相应策略轮询处理队列中的蓝宝石晶体生长过程数据。
8.根据权利要求4所述的蓝宝石单晶生长系统,其特征在于,
蓝宝石晶体生长过程数据形式采用XML格式数据,或采用Json格式数据。
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