[发明专利]半导体温控系统

权利要求书

1.一种半导体温控系统，其特征在于，包括：循环子系统和压缩机制冷子系统，所述循环子系统的出口与用户端连接，所述用户端的出口与所述压缩机制冷子系统连接，所述压缩机制冷子系统的出口与所述循环子系统的入口连接；其中，

所述循环子系统包括：缓冲箱，设置在所述缓冲箱内的加热桶，以及位于所述缓冲箱下游的循环泵，所述循环泵的出口与所述用户端的入口连接；

所述压缩机制冷子系统包括：第一压缩机、第二压缩机、多个换热器、多个电子控制阀以及多个电磁阀，其中，所述用户端的出口与所述换热器连接，所述第一压缩机、所述第二压缩机以及多个所述换热器、所述电子控制阀和所述电磁阀能够配置成多种循环支路，以实现对多种温度值的控制；

所述第一压缩机和所述第二压缩机排出的高温气体能够进入所述换热器内、将循环介质迅速升温，以降低温控系统的能耗；

其中，多种所述循环支路包括：

第一换热器的入口与所述用户端的出口连接，所述第一换热器通过第二换热器与第五换热器连接，所述第五换热器与第二压缩机连接，所述第二压缩机通过第四换热器与第一压缩机连接，所述第一压缩机通过第三换热器与第四换热器连接，所述第四换热器与第五换热器连接，所述第五换热器的出口与所述缓冲箱的入口连接；其中，设置在所述第一换热器入口端的第二电磁阀导通，设置在所述第四换热器入口端的第三电子控制阀导通，设置在所述第五换热器入口端的第二电子控制阀导通；

和/或，第二换热器的入口与所述用户端的出口连接，所述第二换热器与第五换热器连接，所述第五换热器与第二压缩机连接，所述第二压缩机通过第四换热器与第一压缩机连接，所述第一压缩机通过第三换热器和所述第二换热器与所述第五换热器连接，所述第五换热器的出口与所述缓冲箱的入口连接；其中，设置在所述第二换热器入口端的第三电磁阀和第四电子控制阀导通，设置在所述第四换热器入口端的第三电子控制阀导通，设置在所述第五换热器入口端的第二电子控制阀导通；

和/或，第五换热器的入口与所述用户端的出口连接，所述第五换热器与第二压缩机连接，所述第二压缩机通过第四换热器与第一压缩机连接，所述第一压缩机通过所述第四换热器与所述第五换热器连接，或所述第一压缩机通过第三换热器和所述第四换热器与所述第五换热器连接，所述第五换热器的出口与所述缓冲箱的入口连接；其中，设置在所述第五换热器入口端的第一电磁阀、第一电子控制阀导通，设置在所述第四换热器入口端的第三电子控制阀、第五电子控制阀和第四电磁阀导通；

和/或，第二换热器的入口与所述用户端的出口连接，所述第二换热器与第五换热器连接，所述第五换热器与第二压缩机连接，所述第二压缩机通过第四换热器与第一压缩机连接，所述第一压缩机通过所述第二换热器与所述第五换热器连接，或所述第一压缩机通过第三换热器和所述第四换热器与所述第五换热器连接，所述第五换热器的出口与所述缓冲箱的入口连接；其中，设置在所述第二换热器入口端的第三电磁阀、第五电磁阀和第五电子控制阀导通，设置在所述第四换热器入口端的第三电子控制阀导通，设置在所述第五换热器入口端的第一电子控制阀导通。