[发明专利]二氧化碳激光器用的钼反射镜及其制备方法

权利要求书

1.二氧化碳激光器用的钼反射镜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1，将原材料钼板热轧成坯料，将所述坯料进行热冲制成钼圆片；

S2，将所述钼圆片进行双面粗磨和车边，以及在所述钼圆片的两个表面的边沿一周制成具有倒角的边沿，双面粗磨磨掉表面粗糙层并控制厚度，车边控制直径；

S3，对所述钼圆片进行初步双面研磨，进一步控制厚度，初步控制表面粗糙度，然后进行二次双面研磨，研磨完成后进行超声波清洗去污；

S4，然后对所述钼圆片进行双面抛光，抛光完成后进行超声波清洗去污，质检后即得到钼反射镜，所述钼反射镜的表面粗糙度≤0.015μm，所述钼反射镜用于二氧化碳激光器中。

2.根据权利要求1所述的二氧化碳激光器用的钼反射镜的制备方法，其特征在于，S1中所述热轧的温度为1050℃。

3.根据权利要求1所述的二氧化碳激光器用的钼反射镜的制备方法，其特征在于，S2中所述倒角的度数为45度。

4.根据权利要求1所述的二氧化碳激光器用的钼反射镜的制备方法，其特征在于，S3中在进行所述二次双面研磨前需对所述钼圆片进行厚度测量，控制每10片所述钼片之间的厚度差小于等于0.002mm。

5.根据权利要求1所述的二氧化碳激光器用的钼反射镜的制备方法，其特征在于，S3中所述初步双面研磨和所述二次双面研磨的过程均是在防锈研磨液中于研磨砂为4000号的研磨机进行的，并控制所述研磨机的压力为1200N～1600N、转速为18rpm～22rpm、时间20min～40min。

6.根据权利要求5所述的二氧化碳激光器用的钼反射镜的制备方法，其特征在于，所述研磨机的压力为1470N、转速为20rpm、时间30min。

7.根据权利要求1所述的二氧化碳激光器用的钼反射镜的制备方法，其特征在于，S4中所述的过程是将所述钼片置于抛光机的抛光布上于抛光液中进行抛光，所述抛光机的抛光轮选用304不锈钢，控制所述抛光机的压力为1000N～1200N、转速为18rpm～22rpm、时间80min～100min。

8.根据权利要求7所述的二氧化碳激光器用的钼反射镜的制备方法，其特征在于，所述抛光机的压力为1100N、转速为20rpm、时间90min。

9.根据权利要求1～8任一项所述的制备方法制得的钼反射镜，其特征在于，所述钼反射镜应用于二氧化碳激光器，所述钼反射镜为双面抛光型，所述钼反射镜的反射率≥99％、表面粗糙度≤0.015μm。