[发明专利]一种离子布植方法、装置及设备

权利要求书

1.一种离子布植方法，其特征在于，包括：

提供带状离子束流；

样片从所述带状离子束流的第一端旋转运动至所述带状离子束流的第二端时，控制所述带状离子束流对所述样片进行离子布植，其中所述带状离子束流的第一端指向第二端的方向为所述带状离子束流的延伸方向；

其中，样片从所述带状离子束流的第一端旋转运动至所述带状离子束流的第二端包括：

样片相对所述带状离子束流作直线运动，且相对样片中心作旋转运动，其中，所述样片相对所述带状离子束流作直线运动的方向与所述带状离子束流的延伸方向相同。

2.根据权利要求1所述的离子布植方法，其特征在于，样片从所述带状离子束流的第一端旋转运动至所述带状离子束流的第二端包括：

样片从所述带状离子束流的第一端顺时针旋转运动至所述带状离子束流的第二端。

3.根据权利要求1所述的离子布植方法，其特征在于，样片从所述带状离子束流的第一端旋转运动至所述带状离子束流的第二端包括：

样片从所述带状离子束流的第一端逆时针旋转运动至所述带状离子束流的第二端。

4.根据权利要求1所述的离子布植方法，其特征在于，样片相对所述带状离子束流作旋转运动的圆心位于所述带状离子束流所在的直线。

5.根据权利要求1所述的离子布植方法，其特征在于，样片相对所述带状离子束流作直线运动包括：

样片相对所述带状离子束流以恒定线速度作直线运动。

6.根据权利要求1所述的离子布植方法，其特征在于，样片相对样片中心作旋转运动包括：

样片相对样片中心以恒定角速度作旋转运动。

7.一种离子布植装置，其特征在于，包括：

带状离子束产生单元，用于产生带状离子束流；

控制单元，用于样片从所述带状离子束流的第一端旋转运动至所述带状离子束流的第二端时，控制所述带状离子束产生单元产生带状离子束流对所述样片进行离子布植，其中所述带状离子束流的第一端指向第二端的方向为所述带状离子束流的延伸方向；

其中，样片从所述带状离子束流的第一端旋转运动至所述带状离子束流的第二端包括：

样片相对所述带状离子束流作直线运动，且相对样片中心作旋转运动，其中，所述样片相对所述带状离子束流作直线运动的方向与所述带状离子束流的延伸方向相同。

8.根据权利要求7所述的离子布植装置，其特征在于，还包括运动单元，用于带动样片从所述带状离子束流的第一端旋转运动至所述带状离子束流的第二端。

9.一种离子布植设备，其特征在于，包括：

带状离子束产生源，用于产生带状离子束流；

控制器，所述控制器的输出端与所述带状离子束产生源的控制端电连接，所述控制器用于样片从所述带状离子束流的第一端旋转运动至所述带状离子束流的第二端时，控制所述带状离子束产生源产生对所述样片进行离子布植的带状离子束流，其中所述带状离子束流的第一端指向第二端的方向为所述带状离子束流的延伸方向；

其中，样片从所述带状离子束流的第一端旋转运动至所述带状离子束流的第二端包括：

样片相对所述带状离子束流作直线运动，且相对样片中心作旋转运动，其中，所述样片相对所述带状离子束流作直线运动的方向与所述带状离子束流的延伸方向相同。