[发明专利]一种高稳定快擦写图案化的聚合物存储器及其制备方法有效
申请号: | 202011200011.6 | 申请日: | 2020-10-30 |
公开(公告)号: | CN112259685B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 刘举庆;尹宇航;刘正东;黄维 | 申请(专利权)人: | 南京工业大学 |
主分类号: | H10K10/46 | 分类号: | H10K10/46;H10K10/82;H10K71/12;H10K71/16 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 范星 |
地址: | 210000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 稳定 擦写 图案 聚合物 存储器 及其 制备 方法 | ||
1.一种高稳定快擦写图案化的聚合物存储器,其特征在于,包括ITO或FTO的导电基底、存储介质层、铝或银的顶电极,所述的存储介质层包括表面具有孔洞的图案化的共轭微孔聚合物,所述存储介质层的厚度为20-30nm,采用如下方法制备得到:
(1)将4,4′-二(9-咔唑)联苯,1,3,5-三(9H-咔唑-9-基)苯或2,4,6-三(9H-咔唑-9-基)-1,3,5-三嗪中的一种或多种溶于二氯甲烷、二氯乙烷、三氯甲烷、氯苯、甲苯中,得到浓度为0.1mol/L-1mol/L的溶液,以1000-4000r/min的速度旋涂于导电基底上,然后将覆盖有单体的基底在湿度为30%-80%的水蒸汽氛围下放置30-90min得到单体薄膜;
(2)随后在单体薄膜上添加掩膜版,将其置在光源下进行反应,控制反应温度为25~75℃,反应1~3小时;
(3)继步骤(2),清洗样品,得到生长在基底上的具有表面孔洞的图案化的聚合物。
2.权利要求1所述的存储器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
A导电基底处理:将ITO基底采用去离子水,乙醇,异丙醇分别超声,氮气吹干;
B存储介质层的制备:按照权利要求1所述存储介质层的制备方法制备得到;
C顶电极的制备:用热蒸镀的方法在存储介质层上蒸镀金属铝电极,即得存储器。
3.根据权利要求2所述制备方法,其特征在于,所述步骤C中铝电极的蒸镀条件为:真空度为10-5Torr,蒸镀速率为
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