[发明专利]一种硅片自动除尘装置

权利要求书

1.一种硅片自动除尘装置，包括工作台，工作台的顶面设有硅片定位区，其特征是，所述工作台的上侧设有基板，工作台的两侧均设有滑轨，所述基板的下端两侧均固定有与滑轨滑动连接的侧板，所述侧板与工作台之间设有驱动机构；所述基板的底面固定有吹气组件，吹气组件上连接有吹气管，所述侧板的内侧面前后两端均固定有吸气组件，所述吸气组件上连接吸气管。

2.根据权利要求1所述的一种硅片自动除尘装置，其特征是，所述侧板的外侧面均设有过滤器，所述吹气管与一个过滤器连接，所述的吸气管与另一个过滤器连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片自动除尘装置，其特征是，所述的驱动机构包括驱动电机、齿轮、齿条，所述齿条固定在工作台的侧面且与滑轨平行分布，所述驱动电机固定在侧板上，齿轮固定在驱动电机的轴端，所述的齿轮与齿条啮合；所述齿条的两端均设有限位块。

4.根据权利要求1所述的一种硅片自动除尘装置，其特征是，所述基板的下侧前后两端均设有除尘辊，所述除尘辊的外侧设有硅胶套，所述除尘辊两端的连接轴通过连接组件与基板连接。

5.根据权利要求4所述的一种硅片自动除尘装置，其特征是，所述硅胶套的圆周面上延伸形成若干粘尘片。

6.根据权利要求4或5所述的一种硅片自动除尘装置，其特征是，所述连接组件包括连接杆、滑动座，所述滑动座与连接杆的下端固定，所述滑动座内设有滑槽，所述滑槽内设有滑块，所述连接轴与滑块转动连接，所述滑槽内位于滑块的上端处设有压簧。

7.根据权利要求6所述的一种硅片自动除尘装置，其特征是，所述基板的上侧设有连接板，所述连接杆的上端穿过基板与连接板固定连接，所述连接杆与基板滑动连接，所述连接板的上侧设有连接支架，连接支架的两端与基板固定连接，所述连接支架上固定有升降电机，升降电机的轴端设有穿过连接板的螺杆，所述螺杆与连接板之间螺纹连接。

8.根据权利要求7所述的一种硅片自动除尘装置，其特征是，所述工作台上位于硅片定位区的内侧设有除尘辊清理区，所述除尘辊清理区上设有两个与除尘辊一一对应的长槽孔，所述除尘辊清理区的底部位于长槽孔的最下方设有除尘辊清理组件。

9.根据权利要求8所述的一种硅片自动除尘装置，其特征是，所述的除尘辊清理组件包括水槽、喷水嘴、热气喷嘴，所述水槽固定在除尘辊清理区的底部，所述喷水嘴有两组，两组喷水嘴一一对应固定在水槽的前后两侧，喷水嘴的开口端朝向粘尘片；所述的热气喷嘴有两组，两组热气喷嘴通过固定支架固定在除尘辊清理区的底部，热气喷嘴的开口端朝向粘尘片。

10.根据权利要求7所述的一种硅片自动除尘装置，其特征是，所述工作台上的硅片定位区有两个，两个硅片定位区分布在工作台的两端，所述的除尘辊清理区位于两个硅片定位区之间。