[发明专利]一种高端制造用半导体基板抛光液补偿装置有效
| 申请号： | 202011204672.6 | 申请日： | 2020-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN112454173B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 程志鸿 | 申请（专利权）人： | 深圳市旭昌辉半导体有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B37/015;B24B37/005;B24B49/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 深圳中细软知识产权代理有限公司 44528 | 代理人： | 袁文英 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高端 制造 半导体 抛光 补偿 装置 | ||
1.一种高端制造用半导体基板抛光液补偿装置，包括抛光座(1)，其特征在于：所述抛光座(1)的顶部转动连接有修整盘(13)，所述修整盘(13)的上方设有上支撑座(2)，所述上支撑座(2)的内部固定连接有活动架(3)，所述活动架(3)的内部固定连接有柔性管(31)，所述柔性管(31)的一侧固定连接有弹簧杆(32)，所述柔性管(31)的另一侧固定连接有弹簧片(33)，所述活动架(3)的底部固定连接有进液端(4)，所述进液端(4)的底部固定连接有进液管(41)，所述进液管(41)的顶部活动连接有挡板(42)；
所述修整盘(13)与所述上支撑座(2)的连接处固定连接有外套管(5)，所述外套管(5)的内侧壁固定连接有内管体(51)，所述内管体(51)的底部固定连接有吸热头(52)，所述外套管(5)的外侧壁固定连接有滑动座一(53)，所述滑动座一(53)的内侧壁滑动连接有推杆一(54)，所述内管体(51)的外侧壁固定连接有滑动座二(55)，所述滑动座二(55)的内侧壁滑动连接有推杆二(56)，所述外套管(5)的底端固定连接有检测头(6)，所述检测头(6)的内侧壁铰接有漂浮板(61)，所述上支撑座(2)的顶部固定连接有抛光液储存箱(21)，所述抛光液储存箱(21)的内部固定连接有冷却管(22)，所述柔性管(31)的顶部通过管道与所述抛光液储存箱(21)连通，所述柔性管(31)的底部通过管道与所述进液管(41)连通，所述外套管(5)的内部填充有液压油，所述内管体(51)的内部填充有水银，所述推杆一(54)的一端与所述挡板(42)的一侧固定连接，所述推杆二(56)的一端与所述活动架(3)的外侧壁固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种高端制造用半导体基板抛光液补偿装置，其特征在于：所述抛光座(1)的内部活动连接有抛光盘(11)，所述抛光盘(11)的上下两面均固定连接有半导体基板(12)。
3.根据权利要求1所述的一种高端制造用半导体基板抛光液补偿装置，其特征在于：所述漂浮板(61)通过铰接杆与所述检测头(6)铰接。
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