[发明专利]适用于卷对卷COF基板的清洗装置及其清洗方法

说明书

本发明公开了一种适用于卷对卷COF基板的清洗装置及其清洗方法，该清洗装置包括箱体，箱体的内腔由左往右依次分为上料区、清洗区、热风干燥区和下料区，清洗区的下部设有电导率检测区，上料区中转动支撑有若干上料卷盘，清洗区的上部左侧区域设有内置喷淋头的预喷淋区，中间区域设有内置水刀的水刀喷洗区，右侧区域设有内置二流体喷嘴的二流体喷洗区，以及内置风刀的除水区，热风干燥区中设有热风机，下料区中转动支撑有若干下料卷盘，上料区和下料区均固定有静电消除器。本发明利用二氧化碳来增加水的带电度，进而增加清洗能力，再利用高压水刀及二流体喷嘴产生高压流体进行一次与二次物理冲洗，提高清洗效果。

技术领域

本发明涉及COF基板清洗技术领域，尤其涉及一种适用于卷对卷COF基板的清洗装置及其清洗方法。

背景技术

COF产品是在长条状基材上加工形成，经过冲孔、光刻胶涂覆、曝光、显影、蚀刻、退膜、化锡、印刷、分切、检查、出货工序后发给客户。COF客户常对产品清洁度有很高的要求，所以COF制造商会选择在出货工序增添湿法清洗设备，用来除去异物。在COF基材的表面上有导电层，在导电层的表面涂覆光刻胶并干燥，形成光刻胶膜，通过外搬送孔定位后，使用紫外光和菲林片进行曝光，显影形成抗蚀剂，蚀刻形成线路图案，除去抗蚀剂，在单条品两侧根据线路对位Mark冲孔形成内搬送孔，在线路上化锡和印刷油墨，经过分切后形成长条状的COF产品。

目前出货前卷对卷COF的清洁方式主要是高压清洗。以水为工作介质，动力驱动泵通过对水完成一个吸、排过程，将普通的水转化为高压低流速的水，然后输送到高压管路，使其以一定的能量到达高压喷嘴。而高压喷嘴的孔径要比高压管路的直径小得多，因此到达高压喷嘴的水要想通过喷嘴必须加速。这样，喷嘴就可以把高压低流速的水转变为低压高流速的射流去冲洗物体表面，当水的冲击力大于污垢与物体表面附着力，就会将污垢剥离、冲走，从而达到清洗物体表面的目的。

现有的COF基板清洗装置在使用过程中存在清理系统设计不合理，清洗效果不足的问题，需要对其进行优化改进。

发明内容

本发明的目的在于克服传统技术中存在的上述问题，提供一种适用于卷对卷COF基板的清洗装置及其清洗方法。

为实现上述技术目的，达到上述技术效果，本发明是通过以下技术方案实现：

一种适用于卷对卷COF基板的清洗装置，该清洗装置包括箱体，所述箱体的内腔由左往右依次分为上料区、清洗区、热风干燥区和下料区，所述清洗区的下部设有电导率检测区，所述上料区中转动支撑有若干上料卷盘，所述清洗区的上部左侧区域设有内置喷淋头的预喷淋区，所述清洗区的上部中间区域设有内置水刀的水刀喷洗区，所述清洗区的上部右侧区域设有内置二流体喷嘴的二流体喷洗区，以及内置风刀的除水区，所述除水区位于二流体喷洗区的上方，所述热风干燥区中设有热风机，所述下料区中转动支撑有若干下料卷盘，所述上料区的出料端上方以及下料区的进料端上方处均固定有静电消除器。

进一步地，上述适用于卷对卷COF基板的清洗装置中，所述上料区、清洗区和下料区中各自转动支撑有若干导向辊轴。

进一步地，上述适用于卷对卷COF基板的清洗装置中，所述电导率检测区中固定有电导率检测仪，其配置有用于准确测量纯水或超纯水电导率的电极。

进一步地，上述适用于卷对卷COF基板的清洗装置中，所述静电消除器包括储气槽，所述储气槽的上侧固定有气泵，下侧均布有一排内置放电针的喷气嘴，所述储气槽的两端固定有安装支架。

进一步地，上述适用于卷对卷COF基板的清洗装置中，所述二流体喷嘴对应二流体中的高压气态流体为高压二氧化碳。

进一步地，上述适用于卷对卷COF基板的清洗装置中，所述热风干燥区的底部设有气源室，所述气源室中设有供气组件。