[发明专利]一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法

权利要求书

1.一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法，其特征在于，其制备步骤包括如下：

步骤1，自支撑多孔硅制备，将经过丙酮超声清洗过的p型单晶硅固定到电解槽中，未抛光一侧与腐蚀槽底部、阴极电极完全接触，抛光一侧与腐蚀液接触，分步交替对单晶硅片进行腐蚀，腐蚀后取出多孔硅，并反复对其进行离子水冲洗去除表面电解质残留；

步骤2，ZnO籽晶生长，将步骤1处理的多孔硅放入硅醋酸锌溶液，真空抽滤，氩气气氛下高温保温；

步骤3，复合材料的制备，将非水解性水溶性锌盐、弱碱、水放入烧杯搅拌均匀，放入步骤2处理过的多孔硅，转移至反应釜，放入保温箱，90℃保温5-10h。

2.根据权利要求1所述的一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法，其特征在于，步骤1中腐蚀液为氢氟酸乙醇溶液，氢氟酸与无水乙醇的体积比为1：1。

3.根据权利要求1所述的一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法，其特征在于，步骤1中分步交替的电流密度30mA/cm²、80mA/cm²，腐蚀时间30min、1min。

4.根据权利要求1所述的一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法，其特征在于，步骤2中，醋酸锌溶液配制选用醋酸锌二水化合物与无水乙醇，浓度为0.08-0.16mol/L。

5.根据权利要求1所述的一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法，其特征在于，步骤2中，高温保温的温度控制在340-380℃。

6.根据权利要求1所述的一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法，其特征在于，步骤2中，高温保温时间控制在20-40min。

7.根据权利要求1所述的一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法，其特征在于，步骤3中，非水解性水溶性锌盐为硝酸盐或硫酸盐。

8.根据权利要求1所述的一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法，其特征在于，步骤3中，弱碱为氨或尿素。

9.根据权利要求1所述的一种自支撑多孔硅/ZnO复合材料的制备方法，其特征在于，步骤3中，非水解性水溶性锌盐、弱碱、水搅拌均匀混合后，控制溶液pH在10-11之间。