[发明专利]一种显示面板及其制备方法

权利要求书

1.一种显示面板，其特征在于，包括：

衬底层；

第一金属层，位于所述衬底层之上，包括源极和漏极；

热氧化保护层，位于所述第一金属层之上；

缓冲层，位于所述衬底层之上，且覆盖所述热氧化保护层，所述缓冲层上形成有第一过孔和第二过孔；

有源层，位于所述缓冲层之上，且通过所述第一过孔与所述源极相连，通过所述第二过孔与所述漏极相连；

栅绝缘层，位于所述有源层和所述缓冲层之上；以及

第二金属层，位于所述栅绝缘层之上，包括栅极和栅线。

2.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述第一金属层的材料为钼、钼/铜、或钼钛合金/铜。

3.如权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述热氧化保护层的材料为氧化铟锡或氧化铟锌。

4.如权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板还包括：

第一钝化层，位于所述缓冲层之上，且覆盖所述第二金属层和所述有源层，所述第一钝化层上形成有第三过孔和第四过孔；

电极层，位于所述第一钝化层之上，包括像素电极和覆晶薄膜绑定端子，所述像素电极通过所述第三过孔与所述有源层相连，所述覆晶薄膜绑定端子通过所述第四过孔与所述栅线相连；

LED芯片绑定端子，位于所述像素电极之上；

第二钝化层，位于所述第一钝化层和所述LED芯片绑定端子之上；

遮光层，位于所述第二钝化层之上；以及

LED芯片，位于所述LED芯片绑定端子之上，且对应于所述第三过孔设置。

5.如权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述LED芯片绑定端子的材料为铜、或铜/钼。

6.一种显示面板的制备方法，其特征在于，包括步骤：

提供一衬底层；

在所述衬底层之上制备第一金属层；

在所述第一金属层之上制备热氧化保护层；

将所述第一金属层和所述热氧化保护层图案化，形成源极和漏极；

在所述衬底层之上制备缓冲层，所述缓冲层覆盖所述热氧化保护层；

将所述缓冲层图案化，形成分别对应所述源极和所述漏极的第一过孔和第二过孔；

在所述缓冲层之上制备有源层，所述有源层通过所述第一过孔与所述源极相连，通过所述第二过孔与所述漏极相连；

在所述有源层和所述缓冲层之上制备栅绝缘层；

在所述栅绝缘层之上制备第二金属层；以及

将所述第二金属层和所述栅绝缘层图案化，形成栅极和栅线。

7.如权利要求6所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述第一金属层的材料为钼、钼/铜、或钼钛合金/铜。

8.如权利要求7所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述热氧化保护层的材料为氧化铟锡或氧化铟锌。

9.如权利要求6所述的显示面板的制备方法，其特征在于，还包括步骤：

在所述缓冲层、所述有源层、以及所述第二金属层之上制备第一钝化层；

将所述第一钝化层图案化，形成第三过孔和第四过孔；

在所述第一钝化层之上制备电极层，将所述电极层图案化形成像素电极和覆晶薄膜绑定端子，所述像素电极通过所述第三过孔与所述有源层相连，所述覆晶薄膜绑定端子通过所述第四过孔与所述栅线相连；

在所述像素电极之上制备LED芯片绑定端子；

在所述第一钝化层和所述LED芯片绑定端子之上制备第二钝化层；

在所述第二钝化层之上制备图案化遮光层；

以所述图案化遮光层为光罩将所述第二钝化层图案化；以及

在所述LED芯片绑定端子之上且对应于所述第三过孔处绑定LED芯片。

10.如权利要求9所述的显示面板的制备方法，其特征在于，所述LED芯片绑定端子的材料为铜、或铜/钼。