[发明专利]一种高灵敏微流控流速探测装置

权利要求书

1.一种高灵敏微流控流速探测装置，其特征在于，包括：微流控芯片、第一支撑部、第二支撑部、柔性层、底贵金属部、顶贵金属部，所述微流控芯片的表面设有流体通道，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别设置在所述流体通道的两侧，所述柔性层置于所述第一支撑部和所述第二支撑部之间，所述柔性层包覆所述流体通道，所述柔性层在所述流体通道的入口和出口分别设有开口，所述底贵金属部设置在所述柔性层上，所述顶贵金属部的两端分别固定在所述第一支撑部和所述第二支撑部上，所述顶贵金属部与所述底贵金属部分离。

2.如权利要求1所述的高灵敏微流控流速探测装置，其特征在于：所述第一支撑部和所述第二支撑部为透明材料。

3.如权利要求2所述的高灵敏微流控流速探测装置，其特征在于：所述第一支撑部和所述第二支撑部的材料为二氧化硅。

4.如权利要求3所述的高灵敏微流控流速探测装置，其特征在于：所述底贵金属部和所述顶贵金属部的材料为金或银。

5.如权利要求1-4任一项所述的高灵敏微流控流速探测装置，其特征在于：所述顶贵金属部为贵金属薄膜。

6.如权利要求5所述的高灵敏微流控流速探测装置，其特征在于：所述柔性层的材料为聚二甲基硅氧烷。

7.如权利要求6所述的高灵敏微流控流速探测装置，其特征在于：所述柔性层的厚度小于50微米。

8.如权利要求7所述的高灵敏微流控流速探测装置，其特征在于：在所述流体通道的顶部，所述柔性层薄，在所述微流控芯片的顶部，所述柔性层厚。

9.如权利要求8所述的高灵敏微流控流速探测装置，其特征在于：所述底贵金属部为贵金属薄膜。

10.如权利要求8所述的高灵敏微流控流速探测装置，其特征在于：所述底贵金属部为贵金属颗粒。