[发明专利]变倍激光扩束镜及激光加工系统

权利要求书

1.一种变倍激光扩束镜，其特征在于，包括：

激光光路，具有入射端和出射端，激光光束自所述入射端进入所述变倍激光扩束镜，并由所述出射端射出；以及

透镜组，包括沿所述入射端至所述出射端的方向依次设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第一透镜和所述第三透镜均为负透镜，所述第二透镜和所述第四透镜均为正透镜；其中，所述第二透镜的焦距不小于所述第三透镜的焦距。

2.根据权利1要求所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第一透镜为双凹型负透镜，且所述第一透镜的焦距范围为-12mm～-15mm。

3.根据权利2要求所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第二透镜的焦距范围为22mm～25mm。

4.根据权利要求3所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第三透镜为双凹型负透镜，且所述第三透镜的焦距范围为-20mm～-25mm。

5.根据权利要求4所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第四透镜为双凸型正透镜，且所述第四透镜的焦距范围为80mm～100mm。

6.根据权利2要求所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第二透镜为弯月型正透镜。

7.根据权利2要求所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第二透镜包括多个单独透镜，且多个所述单独透镜沿所述入射端至所述出射端的方向依次设置。

8.根据权利要求1-7任意一项所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第一透镜与所述第四透镜之间的间距尺寸不大于150mm。

9.根据权利要求8所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，沿所述激光光路，所述激光光束在所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜以及所述第四透镜上分别形成有第一光斑、第二光斑、第三光斑以及第四光斑，所述第一光斑的直径尺寸为Φ1，所述第二光斑的直径尺寸为Φ2，所述第三光斑的直径尺寸为Φ3，所述第四光斑的直径尺寸为Φ4；其中，Φ3≥Φ1，Φ2＞Φ3，Φ4＞Φ3。

10.根据权利要求9所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第一透镜和所述第二透镜相对活动设置，所述第一透镜与所述第二透镜之间为第一间隔尺寸；所述第三透镜和所述第四透镜相对活动设置，所述第三透镜与所述第四透镜之间为第二间隔尺寸；其中，所述第一间隔尺寸的可变范围小于10mm，所述第二间隔尺寸的可变范围小于20mm。

11.根据权利10要求所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第一透镜和所述第四透镜均与所述入射端相对固定，且所述第一透镜和所述第二透镜之间的间隔尺寸为150mm；所述第二透镜和所述第三透镜能够分别沿所述激光光路相对于所述第一透镜移动，且所述第二透镜和所述第三透镜的移动方向相反。

12.根据权利10要求所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第二透镜与所述第三透镜均与所述入射端相对固定，且所述第二透镜与所述第三透镜之间的间隔尺寸为70mm；所述第一透镜和所述第四透镜能够分别沿所述激光光路相对于所述第二透镜移动，且所述第一透镜和所述第四透镜的移动方向相同。

13.根据权利要求12所述的变倍激光扩束镜，其特征在于，所述第一透镜的前表面至所述第四透镜的后表面的尺寸范围为132mm～142mm。

14.一种激光加工系统，其特征在于，包括权利要求1-13任意一项所述的变倍激光扩束镜。