[发明专利]光学传感器窗口清洁器在审
申请号: | 202011211527.0 | 申请日: | 2020-11-03 |
公开(公告)号: | CN112782086A | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | T·加斯特 | 申请(专利权)人: | 恩特格里斯公司 |
主分类号: | G01N21/15 | 分类号: | G01N21/15;B08B3/02;B08B5/02 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 李婷 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 传感器 窗口 清洁 | ||
1.一种传感器组件,其包含:
通路,所述通路用于工艺流体流经所述传感器组件;
光学窗口,所述光学窗口包括形成所述通路的侧壁的第一部分的内表面;
光学传感器,所述光学传感器被配置成通过所述光学窗口向所述通路传输光以检测所述工艺流体的光学性质;以及
喷嘴,所述喷嘴用于沿冲击所述光学窗口的所述内表面的方向将雾化流体形式的液体和气体排出到所述通路中。
2.根据权利要求1所述的传感器组件,其中所述雾化流体通过所述通路的所述侧壁的第二部分中的开口排出到所述通路中。
3.根据权利要求1所述的传感器组件,其中所述排出方向与垂直于所述光学窗口的所述内表面的方向之间的角度小于45度。
4.根据权利要求1所述的传感器组件,其中所述喷嘴包括用于所述气体的外通道和用于所述液体的内通道,所述外通道围绕所述内通道,所述喷嘴通过将所述气体与所述液体组合而形成所述雾化流体。
5.一种传感器系统,其包含:
用于工艺流体的传感器组件,所述传感器组件包括:
通路,所述通路用于所述工艺流体流经所述传感器组件;
光学窗口,所述光学窗口具有形成所述通路的侧壁的内表面;
光学传感器,所述光学传感器被配置成通过所述光学窗口向所述通路传输光以检测所述工艺流体的光学性质,以及
喷嘴,所述喷嘴用于形成含有液体和气体的雾化流体,所述喷嘴被配置成沿冲击所述光学窗口的所述内表面的方向将所述雾化流体排出到所述通路中;
第一导管,所述第一导管流体连接到所述喷嘴以将所述液体供应到所述喷嘴;以及
第二导管,所述第二导管流体连接到所述喷嘴以将所述气体供应到所述喷嘴。
6.根据权利要求5所述的传感器系统,其中所述工艺流体接触所述光学窗口的所述内表面。
7.根据权利要求5所述的传感器系统,其中所述雾化流体通过所述通路的所述侧壁中的开口被排出到所述通路中。
8.根据权利要求5所述的传感器系统,其中所述喷嘴包括外通道和内通道,所述外通道围绕所述内通道,所述第一导管将所述液体供应到所述喷嘴的所述内通道并且所述第二导管将所述气体供应到所述喷嘴的所述外通道。
9.根据权利要求5所述的传感器系统,其进一步包含:
第一流量阀,所述第一流量阀控制所述液体通过所述第一导管流向所述喷嘴的流量;
第二流量阀,所述第二流量阀控制所述气体通过所述第二导管流向所述喷嘴的流量;以及
控制器,所述控制器被配置成当所述工艺流体流入所述通路时关闭所述第一流量阀和所述第二流量阀。
10.一种清洁传感器组件中的光学窗口的方法,所述方法包含:
使工艺流体流过传感器组件的通路,所述传感器组件包括光学传感器,所述光学传感器经由所述光学窗口向通路传输光以检测流过所述通路的工艺流体的光学性质;
形成含有气体和液体的雾化流体;以及
沿冲击所述光学窗口的内表面的方向将所述雾化流体排出到所述通路中。
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