[发明专利]一种任意波形驱动放电控制系统

权利要求书

1.一种任意波形驱动放电控制系统，其特征在于，所述任意波形驱动放电控制系统包括：

反应器，用于维持等离子体放电；

计算机，与所述反应器连接，用于产生第一波形数据，还用于采集所述反应器的电压，并判断所述反应器的电压中的各谐波电压与目标任意波电压中的各谐波电压是否满足约束条件，如果所述反应器的电压中的各谐波电压与目标任意波电压中的各谐波电压满足约束条件，则停止对所述反应器的电压判断；如果所述反应器的电压中的各谐波电压与目标任意波电压中的各谐波电压不满足约束条件，则调整并输出调整后的第一波形数据；

信号发生器，与所述计算机连接，用于接收第一波形数据和调整后的第一波形数据并根据所述第一波形数据或调整后的第一波形数据产生任意波电压；

功率放大器，与所述信号发生器连接，用于接收所述任意波电压并进行放大；

匹配网络，分别与所述功率放大器和所述反应器连接，用于将放大后的所述任意波电压根据所述反应器进行匹配，并施加在所述反应器上。

2.根据权利要求1所述的任意波形驱动放电控制系统，其特征在于，所述任意波形驱动放电控制系统还包括：

电压探头，与所述反应器连接，用于测量所述反应器的电压；

示波器，分别与所述电压探头和所述计算机连接，用于显示所述反应器的电压。

3.根据权利要求2所述的任意波形驱动放电控制系统，其特征在于，所述任意波形驱动放电控制系统还包括：

隔直电容，分别与所述反应器和所述匹配网络连接，用于阻隔匹配后的所述任意波电压中的直流电。

4.根据权利要求3所述的任意波形驱动放电控制系统，其特征在于，所述反应器为CCP反应器或ICP反应器。

5.根据权利要求4所述的任意波形驱动放电控制系统，其特征在于，所述CCP反应器包括：

驱动电极，分别与所述隔直电容和所述电压探头连接，用于根据阻隔直流电后的所述任意波电压维持等离子体放电；

接地电极，与大地连接，且与所述驱动电极对应设置，用于与所述驱动电极相互作用产生等离子体。

6.根据权利要求1所述的任意波形驱动放电控制系统，其特征在于，所述第一波形信号的计算公式为：

其中，V_fun(t)表示所述第一波形信号，f表示基频频率，t表示单个基频射频周期内的不同时刻，N表示谐波个数，V_fun,k表示所述第一波形信号的第k个谐波的电压幅值，θ_fun,k表示所述第一波形信号的第k个谐波的电压相位。

7.根据权利要求1所述的任意波形驱动放电控制系统，其特征在于，所述反应器的电压计算公式为：

其中，V_ele(t)表示所述反应器的电压，f表示基频频率，t表示单个基频射频周期内的不同时刻，N表示谐波个数，V_ele,k表示所述反应器的电压的第k个谐波的电压幅值，θ_ele,k表示所述反应器的电压的第k个谐波的电压相位。

8.根据权利要求1所述的任意波形驱动放电控制系统，其特征在于，所述目标任意波电压的计算公式为：

其中，V_tar(t)表示所述目标任意波电压，f表示基频频率，t表示单个基频射频周期内的不同时刻，N表示谐波个数，V_tar,k表示所述目标任意波电压的第k个谐波的电压幅值，θ_tar,k表示所述目标任意波电压的第k个谐波的电压相位。