[发明专利]一种清除石墨盘表面沉积物的方法

权利要求书

1.一种清除石墨盘表面沉积物的方法，其特征在于：包括以下步骤：

第一，将待清洗的石墨盘放入清洗设备的清洗腔内；

第二，将清洗腔内的压力抽至0托；

第三，向清洗腔内充入氮气，使清洗腔内的压力升至1000托；

第四，重复第二步和第三步，重复次数不低于三次；

第五，将清洗腔内的压力再次抽至0托，并在氮气氛围下，将清洗腔升温至930℃；

第六，对清洗腔内通过混合气体，并持续2小时；

第七，对清洗腔进行降温，并通入氮气进行吹扫。

2.根据权利要求1所述的一种清除石墨盘表面沉积物的方法，其特征在于：所述混合气体为5％的氯气和氮气组成的混合气体。

3.根据权利要求1所述的一种清除石墨盘表面沉积物的方法，其特征在于：第五步骤中的升温时间为3小时，第七步骤中的吹扫时间为5小时。

4.根据权利要求1所述的一种清除石墨盘表面沉积物的方法，其特征在于：所述清洗设备为烤炉盘或MOCVD设备。

5.根据权利要求1所述的一种清除石墨盘表面沉积物的方法，其特征在于：所述第四步骤中的重复次数为五次。