[发明专利]激光测厚装置在审
申请号: | 202011219268.6 | 申请日: | 2020-11-04 |
公开(公告)号: | CN112212792A | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 蔡正兴;叶超;马长生 | 申请(专利权)人: | 常州奥瑞克精密测量系统有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 刘松 |
地址: | 213000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 装置 | ||
本发明提供一种激光测厚装置,所述装置包括:机架、设置在机架上的伺服电机、与伺服电机相连的丝杆、设置在丝杆上与滑块相连的螺母、水平设置在机架上的带缺口的环形架、设置在环形架缺口一侧以及缺口相对侧的多个激光传感器,其中,带缺口的环形架的缺口相对侧设置在滑块上,带缺口的环形架的缺口侧悬空设置。本发明的激光测厚装置,通过使用水平放置的带缺口的环形架,产生垂直方向的机械震动与激光传感器之间的测量方向不在同一个方向,极大地减小了机械震动对厚度方向测量精度产生的影响,同时利用带缺口环形架短悬臂的刚性有效实现了测量数据的精准性和稳定性。
技术领域
本发明涉及测量技术领域,具体涉及一种激光测厚装置。
背景技术
激光测厚仪是一种无辐射危害、高精度的板/带/箔材料生产线自动厚度测量和质量监控仪器。近一二十年在世界范围应用发展迅速,已成为自动厚度测量设备仪器的一个大门类。激光在线测厚技术建立在上世纪末兴起的光电CCD/CMOS芯片元件测量技术基础上,实现材料厚度测微精度跨越式提升;同时无辐射危害的光学测量方法替代传统工业中有危害射线类测厚仪,从而在环境安全和测量精度两方面意义卓著。
目前的激光测厚仪扫描架垂直安装在线性滑块上方,与水平面呈垂直状态,通俗说是立式安装。由于激光传感器呈上下安装结构,扫描架移动扫描时,系统的机械震动,尤其是上悬臂梁结构在重力作用下,会造成悬臂梁垂直方向上震动加大,该震动与被测材料厚度轴(Z轴)同向,会造成上下激光器之间的距离发生波动与变化,扫描系统垂直方向的机械震动波形会直接叠加到激光传感器的厚度(Z轴)测量数据中去,影响到激光测厚仪测量数据的精准性。并且,对于测量宽幅、超宽幅平面被测材料而言,单组激光传感器的扫描检测率明显下降。
发明内容
本发明为解决上述技术问题,提供了一种激光测厚装置,通过使用水平放置的带缺口的环形架,产生垂直方向的机械震动与激光传感器之间的测量方向不在同一个方向,极大地减小了机械震动对厚度方向测量精度产生的影响,同时利用带缺口环形架短悬臂的刚性有效实现了测量数据的精准性和稳定性。
本发明采用的技术方案如下:
一种激光测厚装置,包括:机架、设置在所述机架上的伺服电机、与所述伺服电机相连的丝杆、设置在所述丝杆上与滑块相连的螺母、水平设置在所述机架上的带缺口的环形架、设置在所述环形架缺口一侧以及缺口相对侧的多个激光传感器,其中,所述带缺口的环形架的缺口相对侧设置在所述滑块上,所述带缺口的环形架的缺口侧悬空设置。
根据本发明的一个实施例,所述带缺口的环形架的重心落于设置在所述滑块上的环形架的一侧上。
根据本发明的一个实施例,所述带缺口的环形架的缺口侧和缺口相对侧分别对称设置N个激光传感器,其中,所述缺口两侧分别对称设置2/N个激光传感器,N为正偶数。
根据本发明的一个实施例,缺口的两端分别设置一个激光传感器。
根据本发明的一个实施例,所述带缺口的环形架的缺口相对侧可拆卸的设置在所述滑块上。
根据本发明的一个实施例,所述带缺口的环形架的缺口相对侧固定设置在所述滑块上。
本发明的有益效果:
本发明通过使用水平放置的带缺口的环形架,产生垂直方向的机械震动与激光传感器之间的测量方向不在同一个方向,极大地减小了机械震动对厚度方向测量精度产生的影响,同时利用带缺口环形架短悬臂的刚性有效实现了测量数据的精准性和稳定性。并且利用多组激光传感器的方式,提高了对被测材料的扫描速度和检测效率。
附图说明
图1为本发明实施例的激光测厚装置的俯视图;
图2为本发明一个实施例的带缺口的环形架的示意图;
图3为本发明一个实施例的激光测厚装置的主视图;
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