[发明专利]一种门阀组件、半导体设备及门阀组件的控制方法

权利要求书

1.一种半导体设备的门阀组件，用于与半导体设备中工艺腔的出气口匹配设置，所述门阀组件包括阀板和阀板控制机构，所述阀板控制机构用于控制所述阀板的位置，以使得所述阀板在封闭所述出气口的位置、开启所述出气口的位置或者部分封闭所述出气口的位置之间切换，所述阀板控制机构包括中位调节件，所述中位调节件用于调节所述阀板在部分封闭所述出气口时的位置，其特征在于，所述门阀组件还包括调节控制模块和调节执行机构，所述调节控制模块用于在接收到外部指令后形成控制信号，并向所述调节执行机构发送所述控制信号，所述调节执行机构用于根据接收到的所述控制信号调节所述中位调节件；

其中，所述阀板控制机构为气动执行机构，其气缸上具有三个进气口：开位进气口、关位进气口、中位进气口，用于控制所述阀板在开启所述出气口的位置、封闭所述出气口的位置或者部分封闭所述出气口的位置之间切换；

在所述开位进气口进气、所述关位进气口和所述中位进气口不进气时，所述阀板运动至开启所述出气口的位置；

在所述关位进气口进气、所述开位进气口和所述中位进气口不进气时，所述阀板运动至封闭所述出气口的位置；

在所述开位进气口和所述中位进气口进气、所述关位进气口不进气时，所述阀板运动至部分封闭所述出气口的位置。

2.根据权利要求1所述的门阀组件，其特征在于，所述外部指令包括开环外部指令，所述调节控制模块用于在接收到所述开环外部指令后，根据所述开环外部指令确定开环调整量，并将所述开环调整量发送至所述调节执行机构，以使所述调节执行机构根据所述开环调整量调节所述中位调节件。

3.根据权利要求1所述的门阀组件，其特征在于，所述门阀组件还包括腔室压力检测组件，用于检测所述工艺腔内部的气压，所述外部指令包括闭环外部指令，所述闭环外部指令包括所述工艺腔的目标气压值；

所述调节控制模块用于在接收到所述闭环外部指令后，循环地接收所述腔室压力检测组件的检测气压值，根据所述腔室压力检测组件的检测气压值与所述目标气压值之间的差值确定闭环调整量，并将所述闭环调整量发送至所述调节执行机构，以使所述调节执行机构根据所述闭环调整量调节所述中位调节件，直至所述腔室压力检测组件检测到的检测气压值与所述目标气压值之间的差值小于预定差值。

4.根据权利要求3所述的门阀组件，其特征在于，所述闭环调整量与所述检测气压值和所述目标气压值之间的差值正相关。

5.根据权利要求3所述的门阀组件，其特征在于，所述阀板控制机构还包括阀板位置检测单元，所述阀板位置检测单元用于检测所述阀板的位置，所述调节控制模块还用于在接收到所述外部指令后，接收所述阀板位置检测单元的检测信号，根据所述检测信号确定所述阀板的位置，并在所述阀板封闭所述出气口或者开启所述出气口时，发出异常信号。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的门阀组件，其特征在于，所述调节执行机构包括调节量反馈单元，用于检测所述调节执行机构的实际调节量，所述调节控制模块还用于在每次向所述调节执行机构发送控制信号后接收所述调节量反馈单元检测到的实际调节量，并在所述实际调节量与所述控制信号对应的目标调节量相同时，进行下一个步骤。

7.根据权利要求6所述的门阀组件，其特征在于，所述中位调节件为调节螺栓，所述调节执行机构包括电机，所述电机的输出轴与所述调节螺栓的一端连接，所述控制信号包括所述调节螺栓的旋转角度。

8.根据权利要求7所述的门阀组件，其特征在于，所述调节执行机构包括电机控制模块；

所述实际调节量包括所述电机的输出轴的旋转角度，所述调节量反馈单元包括编码器，所述编码器设置在所述电机上，所述编码器用于记录所述电机的输出轴的旋转角度，并将所述旋转角度发送至所述电机控制模块。