[发明专利]一种显示面板的制作方法及显示面板

权利要求书

1.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

提供基板；

在所述基板的正面形成金属层，所述金属层包括金属垫；

在所述金属层上形成薄膜晶体管层；

在所述基板的背面形成绑定电路层；

在对应所述金属垫的位置形成贯穿所述基板的通孔；

在所述通孔内和所述基板背面形成连接所述金属垫和绑定电路层的导电层。

2.根据权利要求1所述显示面板的制作方法，其特征在于，在对应所述金属垫的位置形成贯穿所述基板的通孔的步骤，包括：

在所述基板背面对应所述金属垫的位置涂布光致抗蚀剂；

对所述光致抗蚀剂进行曝光；

对曝光后的所述光致抗蚀剂进行刻蚀；

基于刻蚀后的所述光致抗蚀剂对所述基板进行交替循环的刻蚀处理和保护处理；

剥离所述刻蚀后的光致抗蚀剂。

3.根据权利要求2所述显示面板的制作方法，其特征在于，所述刻蚀处理的时间为60-100s，所述保护处理的时间为90-120s。

4.根据权利要求1所述显示面板的制作方法，其特征在于，所述金属层还包括与所述金属垫隔开设置的遮光层，在所述金属层上形成薄膜晶体管层的步骤，包括：

形成覆盖所述金属层的缓冲层；

形成位于所述缓冲层上有源层；

形成位于所述有源层上的栅极绝缘层；

形成位于所述栅极绝缘层上的栅极层；

形成位于所述缓冲层上且覆盖所述有源层、栅极绝缘层、及栅极层的中间层；

形成位于所述有源层两端上方且贯穿所述中间层的源极和漏极，所述源极在其下方通过通孔与所述遮光层连接；

形成位于所述中间层上且覆盖所述源极和漏极的平坦层。

5.根据权利要求1所述显示面板的制作方法，其特征在于，相邻的所述金属垫交错排列。

6.根据权利要求1所述显示面板的制作方法，其特征在于，在所述通孔内和所述基板背面形成连接所述金属垫和绑定电路层的导电层的步骤，包括：采用印刷工艺形成位于所述通孔内和基板背面的银浆，所述银浆将所述金属垫和绑定电路层导通。

7.一种显示面板，其特征在于，包括：

基板；

位于所述基板正面的金属层，所述金属层包括金属垫；

位于所述金属层上的薄膜晶体管层；

位于所述基板背面的绑定电路层；

在对应所述金属垫的位置贯穿所述基板的通孔；

位于所述通孔内和所述基板背面的导电层，所述导电层将所述金属垫与所述绑定电路层电连接。

8.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述通孔由交替循环进行的刻蚀处理和保护处理所形成，所述刻蚀处理的时间为60-100s，所述保护处理的时间为90-120s。

9.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述金属层还包括与所述金属垫隔开设置的遮光层，所述薄膜晶体管层包括：

覆盖所述金属层的缓冲层；

位于所述缓冲层上有源层；

位于所述有源层上的栅极绝缘层；

位于所述栅极绝缘层上的栅极层；

位于所述缓冲层上且覆盖所述有源层、栅极绝缘层、及栅极层的中间层；

位于所述有源层两端上方且贯穿所述中间层的源极和漏极，所述源极在其下方通过通孔与所述遮光层连接；

位于所述中间层上且覆盖所述源极和漏极的平坦层。

10.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，相邻的所述金属垫交错排列。