[发明专利]一种引弧针及其引弧方法

权利要求书

1.一种引弧针，其特征在于，包括第一针体(1)和第二针体(2)，所述第一针体(1)的一端设置有调节部(11)，另一端与所述第二针体(2)的一端连接，所述第二针体(2)的另一端设置有引弧部(21)，所述第一针体(1)和所述第二针体(2)间呈角度连接，所述第一针体(1)和所述第二针体(2)的拐角连接处作为转向部(12)，所述第一针体(1)通过所述调节部(11)夹装于夹具(100)上，所述调节部(11)在所述夹具(100)上夹装位置不同时，所述引弧部(21)与靶材(200)间的距离不同。

2.根据权利要求1所述的引弧针，其特征在于，所述调节部(11)上设置有第一夹持位(111)、第二夹持位(112)和第三夹持位(113)，所述夹具(100)夹持于所述第一夹持位(111)时，所述引弧部(21)与所述靶材(200)间的距离为S1，所述夹具(100)夹持于所述第二夹持位(112)时，所述引弧部(21)与所述靶材(200)间的距离为S2，所述夹具(100)夹持于所述第三夹持位(113)时，所述引弧部(21)与所述靶材(200)间的距离为S3，S1和S2和S3各不相同。

3.根据权利要求2所述的引弧针，其特征在于，所述调节部(11)为弧形或阶梯形。

4.根据权利要求3所述的引弧针，其特征在于，所述转向部(12)的夹角角度范围设置为89.5°-120.5°。

5.根据权利要求4所述的引弧针，其特征在于，所述引弧部(21)的形状设置为点状或弧状。

6.一种使用如权利要求1-5任一项所述的引弧针的引弧方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：确定阴极磁场类型；

S2：根据所述阴极磁场类型设置所述引弧部(21)的形状；

S3：根据所述阴极磁场类型设置所述转向部(12)的夹角；

S4：根据所述靶材(200)的新旧程度，调节所述调节部(11)在所述夹具(100)上的夹装位置；

S5：根据所述阴极磁场类型设置所述引弧部(21)在所述靶材(200)的引弧位置；

S6：所述引弧部(21)在所述靶材(200)上进行引弧。

7.根据权利要求6所述的引弧方法，其特征在于，所述阴极磁场类型为永磁磁场、电磁场或电磁复合永磁磁场。

8.根据权利要求7所述的引弧方法，其特征在于，当所述阴极磁场为永磁磁场时，所述引弧部(21)的形状设置为点状或弧状，所述转向部(12)的夹角设置为90°，所述夹具(100)夹装所述第一夹持位(111)，所述引弧部(21)在所述靶材(200)的引弧位置为烧蚀沟槽一(300)外侧顶面的平整区域。

9.根据权利要求7所述的引弧方法，其特征在于，当所述阴极磁场为电磁场时，所述引弧部(21)的形状设置为弧状，所述转向部(12)的夹角设置为120°，所述引弧部(21)在所述靶材(200)的引弧位置为烧蚀沟槽二(400)的侧壁区域。

10.根据权利要求7所述的引弧方法，其特征在于，当所述阴极磁场为电磁复合永磁磁场时，所述引弧部(21)的形状设置为弧状，所述转向部(12)的夹角设置为120°，所述引弧部(21)在所述靶材(200)的引弧位置为烧蚀沟槽三(500)的凸起区域。