[发明专利]一种小型紫外激光器扩束准直装置有效
| 申请号： | 202011231506.5 | 申请日： | 2020-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN112255813B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 于海波 | 申请（专利权）人： | 北京卓镭激光技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/09 | 分类号： | G02B27/09;G02B27/30 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 侯巍巍 |
| 地址： | 101300 北京市顺义区安平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 小型 紫外 激光器 扩束准直 装置 | ||
1.一种小型紫外激光器扩束准直装置，其特征在于：包括沿紫外激光传输方向依次设置的第一透镜(L1)和第二透镜(L2)，所述第一透镜(L1)和第二透镜(L2)位于同一光轴，所述第一透镜(L1)设置为平凹型球面透镜，所述第二透镜(L2)设置为平凸型球面透镜，所述扩束准直装置为无焦装置，入射光和出射光均为平行光束；
所述第一透镜(L1)和第二透镜(L2)的空气间隔(d2)大于等于28.733mm且小于等于28.833mm；
入射激光参数：光束直径0 .8-1 .2mm，波长为355nm，光束质量m2＜1 .3，出射光束的参数：光束直径2 .5-3 .5mm，波长为355nm；
所述第一透镜(L1)包括第一曲面(S1)和第二平面(S2)，所述第二透镜(L2)包括第三平面(S3)和第四曲面(S4)，所述第一曲面(S1)用于与紫外激光源相邻，所述第二平面(S2)与第三平面(S3)相邻；
第一曲面（S1）的曲率半径为R1，-7.917mm≤R1≤-7.817mm，第二平面S2的曲率半径R2和第三平面S3的曲率半径R3均为无穷大，第四曲面(S4)的曲率半径为R4，-23.638mm≤R4≤23.538mm；第一透镜(L1)的中心厚度为d1，1.95mm≤d1≤2.15mm，第二透镜（L2）的中心厚度为d3, 2.95mm≤d3≤3.05mm，第一透镜（L1）和第二透镜（L2）之间的空气间隔为d2，28.733mm≤d2≤28.833mm；第一透镜（L1）的折射率为Nd1=1.458，第一透镜（L1）的阿贝数为Vd1=67.82；第二透镜（L2）的折射率为Nd2=1.458，第二透镜（L2）的阿贝数为Vd2=67.82，即第一透镜（L1）和第二透镜（L2）为同一种材料。
2.根据权利要求1所述的一种紫外激光器扩束准直装置，其特征在于：所述第一透镜(L1)的光焦度φ10。
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