[发明专利]具有多自由度移动的微机电致动装置

权利要求书

1.一种具有一多自由度移动的微机电致动装置，包括：

一基板，该基板上形成一空腔；

一第一框体，悬浮于该基板上，并具有一转动中心；

一固定部，设置于该基板上，且被该第一框体围绕；

一第一微机电致动器组，设置于该第一框体与该固定部之间，并产生不通过该转动中心的一第一移动方向的一第一移动；

一第二微机电致动器组，设置于该第一框体与该固定部之间，并产生不通过该转动中心的一第二移动方向的一第二移动，其中该第一移动方向平行于该第二移动方向，且该第一移动与该第二移动产生一第一合力方向的一第一合力移动，该第一合力方向通过该转动中心；

一第三微机电致动器组，设置于该第一框体与该固定部之间，并产生不通过该转动中心的一第三移动方向的一第三移动；以及

一第四微机电致动器组，设置于该第一框体与该固定部之间，并产生不通过该转动中心的一第四移动方向的一第四移动，其中该第三移动方向平行于该第四移动方向，且该第三移动与该第四移动产生一第二合力方向的一第二合力移动，该第二合力方向通过该转动中心，其中该第一合力方向与该第二合力方向之间具有一夹角，并且该第一合力移动与该第二合力移动完成该多自由度的一移动，而该空腔向上的投影至少涵盖各该微机电致动器组。

2.如权利要求1所述的装置，其中：

该平面微机电系统致动装置更包括一第二框体，该第二框体围绕于该第一框体外；

该第一框体藉由该第一移动、第二移动、第三移动、及/或第四移动于该第二框体内平移或旋转；

该第一框体经由一软性电连接组件电连接于该第二框体；以及

该第一框体的周围更设置一打线垫，该打线垫邻近并电连接于该软性电连接组件。

3.如权利要求2所述的装置，其中该基板上更形成一镂空结构，

该镂空结构位于该打线垫的下方。

4.一种微机电致动装置，包括：

一基板，具有一贯穿空腔；

一固定部，设置于该基板上；

一第一框体，围绕该固定部而设置；以及

一弹性支撑体，连接于该第一框体与该固定部之间，并使该第一框体悬浮于该基板上，其中：

该贯穿空腔具一第一面积；

该第一框体在该基板具一第二投影面积；以及

该第一面积与该第二投影面积具一重叠部分。

5.如权利要求4所述的装置，更包括：

一第一梳齿，固定于该固定部上，且具有一第一指向；以及

一第一相对梳齿，设置于该第一框体，且与第一梳齿成对设置。

6.如权利要求5所述的装置，更包括：

一解耦绞链，设置于该第一相对梳齿与该第一框体之间，并连接于该基板，且免疫于平行于该第一指向的变形，其中该解耦绞炼与该第一框体的连接处是一第一连接处，该解耦绞炼与该第一相对梳齿的连接处是一第二连接处。

7.如权利要求6所述的装置，更包括：

一限制绞链，连接该基板与该解耦绞链，且位于该基板与该解耦绞链之间，其中该限制绞链仅能依该第一指向发生弹性变形。

8.如权利要求7所述的装置，其中该限制绞链与该解耦绞链之间的连接处是一解耦点，该解耦点与该第一连接处、以及该第二连接处之间连成一直线，该直线平行于该第一指向。

9.如权利要求7所述的装置，其中该限制绞链连接于一限制锚体，并通过该限制锚体与该基板连接。

10.如权利要求9所述的装置，其中该限制绞链与该解耦绞链之间的连接处是一解耦点，该限制锚体与该解耦点之间的联机垂直于该第一指向。