[发明专利]基于仿生分形结构的超低流阻微通道散热器及其制造方法在审
申请号: | 202011233530.2 | 申请日: | 2020-11-06 |
公开(公告)号: | CN112435976A | 公开(公告)日: | 2021-03-02 |
发明(设计)人: | 魏进家;冀昕宇;杨小平;张永海 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | H01L23/427 | 分类号: | H01L23/427;H05K7/20 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 李红霖 |
地址: | 710049 *** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 生分 结构 超低流阻微 通道 散热器 及其 制造 方法 | ||
1.基于仿生分形结构的超低流阻微通道散热器,其特征在于,包括自上而下设置的散热盖板(1)、隔板(2)和供液底板(3),散热盖板(1),隔板(2)和供液底板(3)之间均采用键合技术密封;
散热盖板(1)上加工有微通道进口孔(1-2)、环形工质汇集槽(1-3)和仿生分形微槽道(1-1),沿着微通道进口孔(1-2)的圆心环形布置n个仿生分形微槽道(1-1);
每个仿生分形微槽道(1-1)包括多个相同的仿生分形微通道簇,每一个仿生分形微通道簇包括m级通道,分别为第0,1,2……,(m-1)级通道,其中,第0级通道与微通道进口孔(1-2)相连通,第m-1级通道与环形工质汇集槽(1-3)相连;
隔板(2)中心设置有供液孔(2-1),供液孔(2-1)位于微通道进口孔(1-2)正下方,在供液孔(2-1)的两侧对称位置设置有排液孔(2-2),排液孔(2-2)位于环形工质汇集槽(1-3)的正下方;
供液底板(3)上设置有工质进口(3-1)、供液微槽道(3-2)、排液微槽道(3-3)、集液区(3-4)和工质出口(3-5);工质进口(3-1)和工质出口(3-5)分别位于供液底板(3)的两端;工质进口(3-1)与供液微槽道(3-2)相连通,工质出口(3-5)和集液区(3-4)相连通;供液微槽道(3-2)的末端位于隔板(2)上供液孔(2-1)的正下方;排液微槽道(3-3)一端位于隔板(2)上排液孔(2-2)的正下方,另一端与集液区(3-4)相连接。
2.根据权利要求1所述的基于仿生分形结构的超低流阻微通道散热器,其特征在于,n个仿生分形微槽道整体为圆形;圆形直径Da=20~40mm;微通道进口孔(1-2)直径Db=βDa,β的取值范围为5%~10%。
3.根据权利要求2所述的基于仿生分形结构的超低流阻微通道散热器,其特征在于,n为10~20;m为4~7。
4.根据权利要求1所述的基于仿生分形结构的超低流阻微通道散热器,其特征在于,工质进口(3-1)和供液微槽道(3-2)之间、排液微槽道(3-3)和集液区(3-4)之间以及集液区(3-4)和工质出口(3-5)之间均采用圆弧过渡;
排液孔(2-2)的数量为2个,排液微槽道(3-3)呈V字形,V字形上部两端分别位于两个排液孔(2-2)的正下方,底端与集液区(3-4)相连接。
5.根据权利要求1所述的基于仿生分形结构的超低流阻微通道散热器,其特征在于,从微通道进口孔(1-2)至环形工质汇集槽(1-3)的微通道个数按照2x次幂呈几何级数逐级增加,其中,x为正整数。
6.根据权利要求1所述的基于仿生分形结构的超低流阻微通道散热器,其特征在于,仿生分形微通道除第0级通道外,每一级通道均由两段组成,一段指向圆心的通道ka和一段将通道ka末端和通道(k+1)a的始端连接在一起的通道kb;第k级通道的设计长度Lk为通道ka的长度加上通道kb在半径R上的投影长度,满足:Lk+1=Lk×2-1/D和其中,Lk表示第k级通道的设计长度,Lk+1表示第k+1级通道的设计长度,长度分形维数D=2~3,第k级通道的实际长度Lks为通道ka长度加上通道kb的长度,满足其中αk是相邻两个ka通道之间的夹角,αk=2π/(n×2k),θ是相邻两个kb通道之间的分叉角,且任意两个kb通道之间的分叉角θ都是相等的,θ的取值范围为20~150°。
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