[发明专利]一种镧掺杂钛酸钡靶材的制备方法

权利要求书

1.一种镧掺杂钛酸钡靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）将BaCO₃和TiO₂、La₂O₃和TiO₂分别混合球磨得到两种浆料，然后将两种浆料干燥后的得到的粉料分别煅烧，制得BaTiO₃、La₂Ti₂O₇粉料；

2）按一定比例将BaTiO₃、La₂Ti₂O₇粉料混合进行二次球磨后，干燥得到混合粉料；

3）将干燥后的混合粉料采用聚乙烯醇溶液造粒、过筛，得到粒径均匀的粉料；

4）将造粒后的粉料放入靶材模具，压制、脱模制成生坯；

5）将生坯进行排胶、烧结后使用研磨抛光机将烧结成的靶材外表面抛光，清洗后干燥，得到BLTO靶材。

2.根据权利要求1所述的镧掺杂钛酸钡靶材的制备方法，其特征在于，步骤1）中，La₂O₃、TiO₂的物质的量之比为1:2；BaCO₃、TiO₂的物质的量之比为1:1；球磨时间为5-7小时；干燥温度为80-120℃，干燥时间为8-10小时；制备La₂Ti₂O₇粉料的煅烧温度为1200-1250℃，煅烧时间为3-5小时；制备BaTiO₃粉料的煅烧温度为1100-1150℃，煅烧时间为3-5小时。

3.根据权利要求1所述的镧掺杂钛酸钡靶材的制备方法，其特征在于，步骤2）中，二次球磨过程中，La₂Ti₂O₇、BaTiO₃的物质的量之比为x/（1-2x）；其中，x为大于0小于1的任意数值。

4.根据权利要求1所述的镧掺杂钛酸钡靶材的制备方法，其特征在于，步骤3）中聚乙烯醇溶液浓度为5 wt.%，添加量为混合粉料重量的2%。

5.根据权利要求1所述的BLTO 靶材的制备方法，其特征在于，步骤3）中过筛的上层为40-60目，下层为100-120目，取中间均匀粉末。

6.根据权利要求1所述的镧掺杂钛酸钡靶材的制备方法，其特征在于，步骤4）中靶材压制成型的压力为20-40MPa。

7.根据权利要求1所述的镧掺杂钛酸钡靶材的制备方法，其特征在于，步骤5）中排胶条件为在400-600℃下排胶3-4h。

8.根据权利要求1所述的镧掺杂钛酸钡靶材的制备方法，其特征在于，步骤5）中烧结温度为1350-1450℃，烧结时间为3-4小时。

9.根据权利要求1所述的镧掺杂钛酸钡靶材的制备方法，其特征在于，步骤5）中烧结时的温度控制，先以5℃/min的升温速度升至900℃，再以3℃/min的升温速率升高至1350-1450℃，保温3-4小时后，再以3℃/min的降温速率降至900℃，最后自然冷却至室温。