[发明专利]一种高端光伏组件生产用真空系统及其抽真空工艺

权利要求书

1.一种高端光伏组件生产用真空系统，其特征在于：所述真空系统包含冷却分离系统（1）、真空泵组（2）和分离收集罐（3）；所述冷却分离系统（1）与真空泵组（2）通过气体管路相连接；所述分离收集罐（3）通过排液管路分别与冷却分离系统（1）和真空泵组（2）相连接；

所述冷却分离系统（1）包含前后通过管路连接的两个冷却分离装置（100），所述冷却分离装置（100）包含设置在底部的收集罐（1.1）、设置在收集罐（1.1）顶部并与收集罐（1.1）相连通的冷却罐（1.2）和竖向设置在冷却罐（1.2）内部的冷却水管（1.3）；所述冷却罐（1.2）下部侧面设有进气口（1.4）、上部侧面设有出气口（1.5），在冷却罐（1.2）内部靠近进气口（1.4）和出气口（1.5）的位置设有测温装置（1.8）；所述冷却罐（1.2）顶部设有进水管（1.6）、底部侧面设有出水管（1.7），进水管（1.6）和出水管（1.7）均与冷却罐（1.2）内部的冷却水管（1.3）相连通；所述收集罐（1.1）通过排液管路和阀门与分离收集罐（3）相连；

所述真空泵组（2）包含机架（2.1）、设置在机架（2.1）上层的罗茨真空泵（2.2）、设置在机架（2.1）下层的螺杆真空泵（2.3）、设置在机架（2.1）左侧的控制柜（2.4）和设置在机架（2.1）右侧的消音器（2.5）；所述罗茨真空泵（2.2）顶面进气口上安装有过滤装置（2.6），过滤装置（2.6）的进气口与冷却分离系统（1）的出气口相连，罗茨真空泵（2.2）底面的出气口与螺杆真空泵（2.3）的进气口相连，所述螺杆真空泵（2.3）的出气口与消音器（2.5）的进气口相连；所述消音器（2.5）的上部侧面设有消音器进水口（2.5.1），消音器（2.5）下部侧面上的出水口与螺杆真空泵（2.3）顶面上的顶部进水口（2.3.1）相连，螺杆真空泵（2.3）前端面设有端部进水口（2.3.2），顶部进水口（2.3.1）和端部进水口（2.3.2）通过螺杆真空泵（2.3）内部冷却管路连通至设置在螺杆真空泵（2.3）底部侧面的螺杆泵排水口（2.3.3）；所述螺杆真空泵（2.3）底部设有螺杆泵排污口（2.3.4），螺杆泵排污口（2.3.4）通过排液管路和阀门与分离收集罐（3）相连。

2.根据权利要求1所述的高端光伏组件生产用真空系统，其特征在于：所述冷却分离系统（1）的进气口（1.4）和出气口（1.5）管路上均设有压力变送器（301）和电磁阀（302）。

3.根据权利要求1所述的高端光伏组件生产用真空系统，其特征在于：所述真空泵组（2）的过滤装置（2.6）的进气口上安装有气动蝶阀（303），过滤装置（2.6）的出气口上安装有压力变送器（301）；所述螺杆真空泵（2.3）的进气口上安装有氮气吹扫装置（2.7）；所述消音器（2.5）的顶部排气口上设有真空表（304）。

4.根据权利要求1所述的高端光伏组件生产用真空系统，其特征在于：所述螺杆真空泵（2.3）包含泵体（101）、安装在泵体（101）右端的电机（102）、通过两端轴承转动安装在泵体（101）内部并与电机（102）传动连接的一对螺杆（103）；在螺杆（103）轴上靠近端部轴承的位置设有挡尘密封结构（104）；在泵体（101）排口端的底部设有排污结构（105）。