[发明专利]一种玻璃蚀刻方法有效
| 申请号： | 202011240798.9 | 申请日： | 2020-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN112266178B | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 张轶鸣 | 申请（专利权）人： | 泰极微技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴江区东太湖生态旅游度假*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 蚀刻 方法 | ||
1.一种玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述玻璃蚀刻方法包括：在超声条件下，采用蚀刻溶液对玻璃进行蚀刻；
所述蚀刻溶液中含有碱和碳原子数≤10的醇类有机物；
所述超声的频率为200～1000kHz；
所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为1～30％；
所述碱在蚀刻溶液的水中的质量浓度≥30％。
2.根据权利要求1所述的玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述醇类有机物的碳原子数为2～4。
3.根据权利要求1所述的玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述醇类有机物包括乙醇或异丙醇。
4.根据权利要求1所述的玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述超声的频率为200～300kHz且不包括300kHz时，所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为10～30％且不包括10％。
5.根据权利要求1所述的玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述超声的频率为300～500kHz且不包括500kHz时，所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为5～10％且不包括5％。
6.根据权利要求1所述的玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述超声的频率为500～1000kHz时，所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为1～5％。
7.根据权利要求1所述的玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述蚀刻的温度为60～90℃。
8.根据权利要求7所述的玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述蚀刻的温度为80～90℃。
9.根据权利要求1所述的玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述玻璃包括钠玻璃、硼玻璃或硅玻璃中的任意一种或至少两种的组合。
10.根据权利要求1所述的玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述碱包括氢氧化钠和/或氢氧化钾。
11.根据权利要求1所述的玻璃蚀刻方法，其特征在于，所述方法包括：在60～90℃以及超声条件下，采用蚀刻溶液对玻璃进行蚀刻；
所述蚀刻溶液中含有碱和碳原子数≤10的醇类有机物；所述碱在蚀刻溶液的水中的质量浓度≥30％；
其中，所述超声的频率为200～300kHz且不包括300kHz时，所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为10～30％且不包括10％；所述超声的频率为300～500kHz且不包括500kHz时，所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为5～10％且不包括5％；所述超声的频率为500～1000kHz时，所述蚀刻溶液中醇类有机物的体积浓度为1～5％。
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