[发明专利]一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法

说明书

本发明提供了一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法，可通过多个接头同时连接多个待测薄膜规进行检测，检测时，若标准真空测量仪器的测得值没变化表示所有薄膜规均合格，若有变化表示其中至少一个薄膜规不合格，从而可通过对半排查的方式确定不合格薄膜规；与现有技术中只能逐个检测的方式相比，检测效率更高，操作更方便，且该多接头的真空检测装置的结构简单、成本低廉。

技术领域

本发明涉及真空检测设备技术领域，尤其涉及一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法。

背景技术

目前，在真空机械行业常常需要用薄膜规来检测一些设备的真空度，一般地，薄膜规在使用一段时间后，需要送到检测中心去检测其真空度，以保证其测量精度。

目前，一般用氦气检测仪对薄膜规进行真空度的检测，其原理是：把被检测仪器连接到测试仪中，然后在真空环境下注入氦气，如果检测到氦气被吸入检测仪中，就说明被检测的仪器漏气。但是现有的氦气检测仪的价格比较贵，而且要检测不同接口的薄膜规或其他需检测仪器时需要更换不同型号的波纹管，使用麻烦。尤其是对于检测中心的工作人员来说，由于每天都要对大量的薄膜规进行检测，而一般的氦气检测仪一次只能检测一个薄膜规，因此只能逐个地进行检测，工作效率极低。

发明内容

鉴于上述现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种多接头的真空检测装置和薄膜规真空度检测方法，可同时连接多个薄膜规进行真空度检测，提高检测效率，且结构简单、成本低廉。

为了达到上述目的，本发明采取了以下技术方案：

一种多接头的真空检测装置，包括具有密封内腔的壳体，所述壳体上设置有多个与所述密封内腔连通的接头、与所述密封内腔连通的第一接口、以及用于对所述密封内腔抽真空的真空泵；

所述接头用于与待检测的仪器连接；所述第一接口用于与外部的标准真空测量仪器连接。

所述的多接头的真空检测装置中，每个所述接头处均设置有第一开关阀。

所述的多接头的真空检测装置中，多个所述接头中，至少包括两种不同型号的标准接头。

一些实施方式中，所述接头设置有至少八个，且至少八个所述接头中包括至少八种不同型号的标准接头。

一些实施方式中，多个所述接头中包括KF10 、KF16 、KF25 、KF40、CF16、CF35、CF40、CF63中的至少一种型号的标准接头。

所述的多接头的真空检测装置，还包括与所述密封内腔连通的第二接口，所述第二接口用于与外部的抽真空装置连接；所述真空泵为分子泵。

所述的多接头的真空检测装置，还包括用于对所述密封内腔排真空的排真空口，所述排真空口处设置有第二开关阀。

一种薄膜规真空度检测方法，基于所述的多接头的真空检测装置，所述薄膜规真空度检测方法包括步骤：

A1.用多个接头连接多个待测薄膜规；

A2.用第一接口连接外部的标准真空测量仪器；

A3.对壳体的密封内腔抽真空；

A4.根据所述标准真空测量仪器的测得值变化情况判断是否有薄膜规的真空度不达标；

A5.若否，则判定所述多个待测薄膜规均合格；

A6.若是，则采用对半排查的方式确定不合格薄膜规。

所述的薄膜规真空度检测方法中，步骤A3包括：

用外部的真空泵通过第二接口对壳体的密封内腔抽真空，使所述密封内腔的真空度到达预设的前级真空度；

用分子泵对所述密封内腔再次抽真空，使所述密封内腔的真空度到达目标真空度。

所述的薄膜规真空度检测方法中，步骤A6包括：