[发明专利]一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置

说明书

本发明公开了一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，属于硅片加工领域，包括清洗箱、氢氟酸溶液罐和离子水罐，所述的清洗箱内设有支架，电动移动块下表面设有升降杆，旋转电机输出轴和旋转轴连接，夹持板上设有多组固定夹，三组隔板将清洗箱分割成酸洗槽、清洗槽、精洗槽和烘干槽，清洗箱上设有离子水罐，第一输水支管出口端和酸洗槽连通，氢氟酸传输管出口端设置在酸洗槽内部中间位置，第二输水支管出口端设有喷洗管，第三输水支管出口端设有喷淋盘，烘干槽内部设有烘干器，烘干槽和喷气机连通。本发明方便酸洗液和硅片的充分接触，利于去除硅片上含磷的表面，提高酸洗的效果和效率，同时保证工人全程不接触氢氟酸，保障工人的身体健康。

技术领域

本发明涉及一种硅片加工领域，具体是一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置。

背景技术

硅片制成的芯片有着惊人的运算能力,芯片又是现代化的微型“知识库”，它具有神话般的存储能力，微电子技术在航空航天、国防和工业自动化中的无比威力更是众所皆知的事实。在大型电子计算机的控制下，无人飞机可以自由地在蓝天飞翔；人造卫星、宇宙飞船、航天飞机可以准确升空、飞行、定位，并自动向地面发回各种信息。在电子计算机的指挥下，火炮、导弹可以弹无虚发，准确击中目标，甚至可以准确击中空中快速移动目标，包括敌方正在飞行中的导弹。工业中广泛使用计算机和各种传感技术，可以节省人力，提高自动化程度及加工精度，大大提高劳动生产效率。机器人已在许多工业领域中出现。它们不仅任劳任怨，而且工作速度快、精确度高，甚至在一些高温、水下及危险工段工种中也能冲锋陷阵，一往无前，智能机器人也开始显示出不凡的身手。芯片生产制造过程中的扩散过程中，即使采用背靠背扩散，硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，影响硅片的使用。

现有的芯片一般都是在氢氟酸溶液中浸泡，以去除磷硅玻璃，现有的磷硅玻璃去除时容易时硅片上残留的氢氟酸飞溅出来，氢氟酸对皮肤有强烈的腐蚀作用，可发生支气管炎、肺炎、眼和上呼吸道刺激症状，影响工作人员的安全。

发明内容

对于现有的一产生的问题，本发明的目的在于提供一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种硅片加工用去除磷硅玻璃酸洗装置，包括清洗箱、氢氟酸溶液罐和离子水罐，所述的清洗箱两侧侧壁分别设有进料门和出料门，清洗箱内设有支架，支架上安装电动移动块，电动移动块下表面设有升降杆，升降杆底端设有旋转电机，旋转电机输出轴和旋转轴连接，旋转轴上安装夹持板，夹持板上设有多组固定夹，清洗箱内部设有三组隔板，三组隔板将清洗箱分割成酸洗槽、清洗槽、精洗槽和烘干槽，清洗箱上设有离子水罐，离子水罐底端设有输水管，输水管出口端分别和第一输水支管、第二输水支管、第三输水支管连通，第一输水支管出口端和酸洗槽连通，清洗箱和氢氟酸溶液罐连通，氢氟酸溶液罐上设有氢氟酸传输管，氢氟酸传输管上设有流量计，氢氟酸传输管出口端设置在酸洗槽内部中间位置，第二输水支管出口端设有喷洗管，喷洗管设置在清洗槽内部，第三输水支管出口端设有喷淋盘，烘干槽内部设有烘干器，烘干槽和喷气机连通，喷气机上设有通气管，通气管上设有多个出口端，通气管的出口端设有风口。

作为本发明进一步的方案：所述的酸洗槽底端倾斜设有导水板，导水板最低端设有酸洗液排出管。

作为本发明进一步的方案：所述的酸洗槽侧壁设有溢流管，溢流管出口端和酸洗液排出管连通。

作为本发明进一步的方案：所述的精洗槽和清洗槽之间设有单向阀，清洗槽底端设有清洗液排出管。

作为本发明进一步的方案：所述的清洗槽内设有抽水管，抽水管一端设有滤网，滤网设置在清洗槽内部底端，抽水管另一端和第二输水支管侧壁连通，抽水管上安装水泵。

作为本发明进一步的方案：所述的支架穿过进料门、出料门设置。