[发明专利]机器人系统、机器人的控制方法、半导体制造系统

权利要求书

1.一种机器人系统，其特征在于，该机器人系统具有：

机器人；和

对所述机器人进行控制的机器人控制器，

所述机器人具备：

水平多关节型的第一臂，该第一臂具备：第一基部连杆，其被设置成能够绕回转轴线旋转；第一中间连杆，其以能够绕第一旋转轴线旋转的方式连结于所述第一基部连杆的末端部；和第一手部，其以能够绕第二旋转轴线旋转的方式连结于所述第一中间连杆的末端部，在延伸设置方向上形成得分别比所述第一基部连杆及所述第一中间连杆长，该第一手部对工件进行保持，所述第一臂使所述第一手部沿着以所述回转轴线为中心的第一径向移动；

水平多关节型的第二臂，该第二臂具备：第二基部连杆，其被设置成能够与所述第一基部连杆独立地绕所述回转轴线旋转；第二中间连杆，其以能够绕第三旋转轴线旋转的方式连结于所述第二基部连杆的末端部；和第二手部，其以能够绕第四旋转轴线旋转的方式连结于所述第二中间连杆的末端部，在延伸设置方向上形成得分别比所述第二基部连杆及所述第二中间连杆长，该第二手部对所述工件进行保持，所述第二臂使所述第二手部沿着第二径向移动，所述第二径向与所述第一径向之间绕所述回转轴线具有规定的角度；以及

回转装置，其使所述第一臂和所述第二臂在保持绕所述回转轴线的周向的位置关系的状态下在所述周向上一起回转。

2.根据权利要求1所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人系统还具有升降装置，该升降装置使所述第一臂和所述第二臂在保持所述周向的位置关系的状态下在所述回转轴线的轴向上一起升降，

所述机器人控制器以如下方式对所述回转装置和所述升降装置进行控制：与使所述第一臂和所述第二臂在所述周向上回转并行地使所述第一臂和所述第二臂在所述轴向上升降。

3.根据权利要求2所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人控制器具有：

第一动作控制部，其以使所述第一手部沿着所述第一径向移动的方式使所述第一臂伸缩；

第二动作控制部，其以如下方式对所述回转装置及所述升降装置进行控制：与使所述第一臂及所述第二臂在所述周向上回转并行地使所述第一臂及所述第二臂在所述轴向上升降；以及

第三动作控制部，其以使所述第二手部沿着所述第二径向移动的方式使所述第二臂伸缩。

4.根据权利要求3所述的机器人系统，其特征在于，

所述第二动作控制部以如下方式对所述回转装置和所述升降装置进行控制：与使所述第一臂和所述第二臂回转所述规定的角度并行地使所述第一臂和所述第二臂在所述轴向上升降，其中，所述规定的角度是所述第一径向与所述第二径向的角度差。

5.根据权利要求3或4所述的机器人系统，其特征在于，

所述第一手部和所述第二手部在所述轴向上错开地配置，

所述第二动作控制部以如下方式对所述回转装置和所述升降装置进行控制：与使所述第一臂和所述第二臂在所述周向上回转并行地，使所述第一臂和所述第二臂在所述轴向上升降所述错开的距离。

6.根据权利要求1～4中的任意一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人控制器在利用所述回转装置使所述第一臂和所述第二臂回转时，使所述第一臂和所述第二臂成为如下的回转姿态：所述第一手部的所述第二旋转轴线相对于所述回转轴线位于与所述第一手部的末端侧相反的一侧，并且，所述第二手部的所述第四旋转轴线相对于所述回转轴线位于与所述第二手部的末端侧相反的一侧。

7.根据权利要求6所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人控制器在所述回转姿态下，使所述第二旋转轴线在所述周向上位于所述第三旋转轴线与所述第四旋转轴线之间，使所述第四旋转轴线在所述周向上位于所述第一旋转轴线与所述第二旋转轴线之间。

8.根据权利要求7所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人控制器在所述回转姿态下，以沿着所述第一径向的朝向配置所述第一手部，以沿着所述第二径向的朝向配置所述第二手部。